一种粗氦气体低温分离提纯氦气的系统及方法

本发明属于氦气提纯技术领域，涉及一种粗氦气体低温分离提纯氦气的系统，包括多级催化氧化脱氢单元、冷却单元、精馏提浓单元和多级变压吸附提纯单元；催化氧化脱氢单元包括依次连接的加热器、反应器、水冷器和分离器；冷却单元包括氮气压缩机、冷箱和冷凝器，精馏提浓单元包括精馏塔和回流罐；脱水装置经冷箱与精馏塔连接，精馏塔出口经冷凝器与回流罐连接，回流罐出口经过滤器与变压吸附提纯单元连接；变压吸附提纯单元包括变压吸附塔和阀组，变压吸附塔顶部出气口连接氦气缓冲罐和顺放罐。通过多级催化氧化脱氢+低温精馏提浓+变压吸附提纯的工艺方法，将浓度10％以上粗氦气提纯至99.999％，解决了氦气精制能耗高，氦气纯度低问题。