1.一种用于加工变化槽深光栅的挡板装置，其特征在于，所述用于加工变化槽深光栅的挡板装置包括左右设置的左挡板机构(1)和右挡板机构(2)，左挡板机构(1)含有依次连接的左挡板(11)和左驱动组件(12)，左驱动组件(12)能够驱动左挡板(11)沿前后左右方向移动，右挡板机构(2)含有依次连接的右挡板(21)和右驱动组件(22)，右驱动组件(22)能够驱动右挡板(21)沿前后左右方向移动；左挡板(11)和右挡板(21)均平行于水平面，左挡板(11)和右挡板(21)下上间隔设置，左挡板(11)朝向右挡板(21)的侧边为左工作边(111)，右挡板(21)朝向左挡板(11)的侧边为右工作边(211)，左工作边(111)和右工作边(211)能够围成纵向通孔(3)，纵向通孔(3)的下方为光栅加工区域(4)，纵向通孔(3)的大小、形状和位置均能够改变；左工作边(111)为直角形、弧线形、梯形或波浪线形，右工作边(211)为直角形、弧线形、梯形或波浪线形。
2.根据权利要求1所述的用于加工变化槽深光栅的挡板装置，其特征在于，左驱动组件(12)含有依次连接的左侧Y轴移动组件(121)和左侧X轴移动组件(122)，左侧Y轴移动组件(121)能够驱动左侧X轴移动组件(122)和左挡板(11)沿前后方向同步移动，左侧X轴移动组件(122)能够驱动左挡板(11)沿左右方向移动。
3.根据权利要求2所述的用于加工变化槽深光栅的挡板装置，其特征在于，左侧Y轴移动组件(121)含有左侧Y轴导轨(1211)、左侧Y轴滑块(1212)和左侧Y轴驱动单元，左侧Y轴导轨(1211)沿前后方向沿伸，所述左侧Y轴驱动单元能够驱动左侧Y轴滑块(1212)在左侧Y轴导轨(1211)上前后移动。
4.根据权利要求3所述的用于加工变化槽深光栅的挡板装置，其特征在于，左侧X轴移动组件(122)含有左侧X轴导轨(1221)、左侧X轴滑块(1222)和左侧X轴驱动单元，左侧X轴导轨(1221)沿左右方向沿伸，所述左侧X轴驱动单元能够驱动左侧X轴滑块(1222)在左侧X轴导轨(1221)上左右移动。
5.根据权利要求4所述的用于加工变化槽深光栅的挡板装置，其特征在于，左侧X轴导轨(1221)固定于左侧Y轴滑块(1212)上，左挡板(11)固定于左侧X轴滑块(1222)上。
6.根据权利要求1所述的用于加工变化槽深光栅的挡板装置，其特征在于，左工作边(111)和右工作边(211)的长度相同，纵向通孔(3)为矩形、菱形、三角形、圆形、五边形或六边形。
7.根据权利要求1所述的用于加工变化槽深光栅的挡板装置，其特征在于，左挡板机构(1)的构造和右挡板机构(2)的构造相同，左挡板机构(1)和右挡板机构(2)能够互为镜像，当纵向通孔(3)的面积为零时，左挡板(11)和右挡板(21)能够从上向下完全遮挡光栅加工区域(4)。
8.一种光栅刻蚀加工设备，其特征在于，所述光栅刻蚀加工设备包括离子束发射源(6)和权利要求1所述的用于加工变化槽深光栅的挡板装置，离子束发射源(6)位于纵向通孔(3)的上方，离子束发射源(6)发射出的离子束流(61)仅能够穿过纵向通孔(3)轰击光栅加工区域(4)。
9.根据权利要求8所述的光栅刻蚀加工设备，其特征在于，所述光栅刻蚀加工设备还包括全遮挡刻蚀挡板(5)，全遮挡刻蚀挡板(5)位于离子束发射源(6)和纵向通孔(3)之间，沿从上向下的方向，全遮挡刻蚀挡板(5)能够完全遮挡或暴露纵向通孔(3)。
