有效

一种横向磁场调控的低温等离子体处理装置及其实施方法

王永生、彭明斌、王亚楠、丁卫东
西安交通大学

摘要

本发明属于大气压辉光放电领域,涉及一种横向磁场调控的低温等离子体处理装置,包括为电源单元,内置高压尖电极、环形接地电极、电磁线圈的放电单元,气体单元,气控单元,磁控单元,盛放处理液体或者收集在放电单元中完成处理的气体产物的试品单元;高压尖电极的放电端为尖端,环形接地电极的环径向内侧预制轴向对称切角;在外筒内表面上设有磁芯,磁芯包括第一环形磁芯和第二环形磁芯。该装置通过大幅增加放电区域来提高低温等离子体中高能活性粒子产生效率,既可以利用某种特定介质气体的放电过程产生富含高能活性粒子用于后续液体的处理,也可以直接在气体单元中将待处理气体与介质气体按比例进行混合后直接在放电单元中完成处理。