电场传感器

1.一种电场传感器，其特征在于，所述电场传感器包括：基座框；固定电极，所述固定电极与所述基座框连接；压电驱动梁，所述压电驱动梁与所述基座框连接，所述压电驱动梁包括多个激励区域；为各个所述激励区域施加驱动电压的驱动电路，其中，向各所述激励区域施加的驱动电压驱动各所述激励区域在垂直方向上向同向移动；可动电极，所述可动电极设置于所述压电驱动梁上，且，在所述电场传感器处于非工作状态时，所述可动电极与所述固定电极位于同一平面上；所述压电驱动梁为梳齿结构；所述压电驱动梁包括主梁和与所述主梁连接的多个梳齿梁；所述压电驱动梁包括第一激励区域、第二激励区域以及第三激励区域；其中，所述第一激励区域位于所述主梁的两端；所述第二激励区域位于所述主梁的中段；所述第三激励区域位于所述梳齿梁上；所述驱动电路，用于向所述第一激励区域和所述第二激励区域施加幅值相同，相位相反的交流电，并用于向所述第一激励区域和所述第三激励区域施加相位相同的交流电。 2.根据权利要求1所述的电场传感器，其特征在于，所述固定电极为梳齿结构或条形结构。 3.根据权利要求2所述的电场传感器，其特征在于，所述固定电极与所述可动电极交错设置。 4.根据权利要求1所述的电场传感器，其特征在于，所述压电驱动梁包括叠层设置的上绝缘层、上驱动电极、压电层、下驱动电极、下绝缘层和弹性梁；其中，所述下绝缘层位于所述弹性梁之上，所述下驱动电极位于所述下绝缘层之上，所述压电层位于所述下驱动电极之上，所述上驱动电极位于所述压电层之上，所述上绝缘层位于所述上驱动电极之上。 5.根据权利要求4所述的电场传感器，其特征在于，所述可动电极与所述上绝缘层连接。 6.根据权利要求5所述的电场传感器，其特征在于，所述可动电极的形状与所述压电驱动梁的形状匹配。 7.根据权利要求4所述的电场传感器，其特征在于，所述固定电极、所述可动电极、所述上驱动电极和所述下驱动电极均采用铝、铜、钛、银、铂、金、锡、铟中的至少一种制成；所述上绝缘层和所述下绝缘层均采用氧化硅、氧化铝、氧化锆、氧化铪、氧化钇、氧化铈、氮化硅中的至少一种制成；所述压电层采用氮化铝、氧化锌、钛酸铅、锆钛酸铅、钛酸钡、铁酸铋、铌酸钾钠、铌镁酸铅-钛酸铅、压电聚合物中的至少一种制成。