1.一种高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关，包括衬底以及间隔设在所述衬底上的第一CPW传输线与第二CPW传输线；其特征在于，还包括第三CPW传输线、第一悬臂开关结构与第二悬臂开关结构，所述第三CPW传输线设在所述衬底上且间隔位于所述第一CPW传输线与所述第二CPW传输线之间的位置；所述第一悬臂开关结构的一端与所述第一CPW传输线相连，所述第一悬臂开关结构的另一端与所述第三CPW传输线的一端相连；所述第二悬臂开关结构的一端与所述第二CPW传输线相连，所述第二悬臂开关结构的另一端与所述第三CPW传输线的另一端相连；所述第一悬臂开关结构包括第一锚点、第一驱动电极、第一上电极与第一接触点；所述第一驱动电极设在所述衬底上，且所述第一驱动电极间隔位于所述第一CPW传输线与所述第三CPW传输线之间；所述第一锚点设在所述第一CPW传输线上朝向所述第三CPW传输线的一端，所述第一接触点位于所述第三CPW传输线上朝向所述第一CPW传输线的一端；所述第一上电极的一端与所述第一锚点相连，另一端位于所述第一接触点的正上方，且所述第一驱动电极位于所述第一上电极中部的正下方；所述第二悬臂开关结构包括第二锚点、第二驱动电极、第二上电极与第二接触点；所述第二驱动电极设在所述衬底上，且所述第二驱动电极间隔位于所述第二CPW传输线与所述第三CPW传输线之间；所述第二锚点设在所述第二CPW传输线上朝向所述第三CPW传输线的一端，所述第二接触点位于所述第三CPW传输线上朝向所述第二CPW传输线的一端；所述第二上电极的一端与所述第二锚点相连，另一端位于所述第二接触点的正上方，且所述第二驱动电极位于所述第二上电极中部的正下方。
2.根据权利要求1所述的高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关，其特征在于，所述第一悬臂开关结构还包括第一绝缘层，所述第二悬臂开关结构还包括第二绝缘层；所述第一绝缘层设在所述第一驱动电极与所述第一上电极之间，所述第二绝缘层设在所述第二驱动电极与所述第二上电极之间。
3.根据权利要求1或2所述的高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关，其特征在于，所述MEMS开关为左右对称结构，且对称部分的物理结构以及尺寸参数均相同。
4.根据权利要求3所述的高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关，其特征在于，所述第一驱动电极与所述第二驱动电极的驱动电压设计过程为：当驱动电极施加驱动电压时，上电极的受力为静电力与形变机械回复力的共同作用；所述静电力F e 为：式中，V为驱动电极施加的驱动电压，C(g)为驱动电极与上电极之间间隙为g时两电极间的距离，ε为空气介电常数，A为驱动电极与上电极级的正对面积；所述形变机械回复力F 0 为：式中，k为上电极自由端的弹性系数，x为上电极自由端的位移；当所述静电力与所述形变机械回复力一致时，可得到此时的驱动电压为：式中，g 0 为驱动电极与上电极之间的初始间隙；定义 时对应的电压为临界驱动电压，可得到驱动电压为：式中，V p 为所述第一上电极或所述第二上电极的驱动电压，E为所述第一上电极或所述第二上电极材料的杨氏模量， t 为所述第一上电极或所述第二上电极材料的厚度，w为所述第一上电极或所述第二上电极的宽度，l为所述第一上电极或所述第二上电极的长度。
5.根据权利要求1或2所述的高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关，其特征在于，所述第一驱动电极、所述第二驱动电极、所述第一CPW传输线、所述第二CPW传输线与所述第三CPW传输线均由铜制成；所述第一上电极与所述第二上电极均由金制成。
6.根据权利要求1或2所述的高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关，其特征在于，所述衬底由石英、GaN或GaAs制成。
