一种基于二维光栅结构的温度检测方法

1.一种基于二维光栅结构的温度检测方法，其特征在于，电力设备温度发生变化，不同的温度会辐射出不同波长的红外电磁波，基于二维光栅结构特有的共振特性，不同波长的红外电磁波穿透二维光栅结构后将得到不同的透过强度，电力设备的温度与二维光栅结构的透过强度具有一一对应的关系，利用红外探测器测量透过强度，进而反推电力设备此时对应的温度大小，实现对电力设备实时高效高灵敏度的温度监测；二维光栅结构为微纳结构横纵阵列拼接获得，通过调整微纳结构的结构参数，对二维光栅结构的透过谱进行调制，从中选取具有强波长依赖特性的谱线，将其对应的结构参数用于最终设计的二维光栅结构；改变二维光栅结构的结构参数实现不同测量灵敏度；所述微纳结构设为具有强波长依赖特性的锗四方柱结构，所述锗四方柱结构包括正方形基体和位于基体上表面凸起的四方柱。 2.如权利要求1所述的一种基于二维光栅结构的温度检测方法，制作实现所述温度检测方法的温度监测装置步骤如下：步骤一、根据电力设备的温度范围，确定其辐射出红外电磁波的波长范围；步骤二、选择具有强波长依赖特性的微纳结构作为二维光栅结构的基本单元；步骤三、对微纳结构的结构参数进行微调，从中选取具有强波长依赖特性的谱线，将其对应的结构用于最终的二维光栅结构；步骤四、利用光刻和刻蚀工艺加工制备设计的二维光栅结构，得到样品，然后将样品与红外探测器进行集成封装，红外探测器用于测量通过强度；步骤五、对温度检测装置进行标定，通过测量不同入射波长经二维光栅结构后的透过强度，根据测量结果拟合出波长与透过强度的对应关系式，进而得到电力设备工作温度与透过强度的关系式。 3.如权利要求1或2所述的一种基于二维光栅结构的温度检测方法，所述锗四方柱结构的结构参数包括周期p，四方柱的高度h，四方柱之间的间隙s和四方柱的柱体宽度b。