基于静电排斥力可重构的风速风向传感器及检测装置

1.一种基于静电排斥力可重构的风速风向传感器，其特征在于，所述基于静电排斥力可重构的风速风向传感器包括双端固支梁、测量电阻、排斥驱动器和基底层，所述双端固支梁设置于所述基底层且与所述基底层形成空腔，所述排斥驱动器设置于所述空腔内，所述测量电阻设置于所述双端固支梁远离所述基底层的一侧，所述排斥驱动器用于根据电压信号重构所述基于静电排斥力可重构的风速风向传感器；所述基于静电排斥力可重构的风速风向传感器的表面设置有多个所述测量电阻，通过感知所述测量电阻被风带走的热量来表征风向和风速；其中，所述双端固支梁凸起高度越高，所述测量电阻被带走的热量更多，灵敏度更高。 2.根据权利要求1所述的风速风向传感器，其特征在于，所述排斥驱动器包括被驱动电极、压制电极和吸引电极，所述被驱动电极设置于所述双端固支梁，所述压制电极设置于所述基底层与所述被驱动电极对应的位置，所述吸引电极设置于所述基底层。 3.根据权利要求2所述的风速风向传感器，其特征在于，所述吸引电极包括第一吸引电极和第二吸引电极，所述第一吸引电极和所述第二吸引电极基于所述压制电极对称分布于所述基底层。 4.根据权利要求3所述的风速风向传感器，其特征在于，所述被驱动电极和所述压制电极具有相同的电势，所述第一吸引电极和所述第二吸引电极接地，所述第一吸引电极和所述第二吸引电极用于抵消所述被驱动电极两侧的吸引力，所述压制电极用于根据所述电压信号改变对所述被驱动电极的排斥力的大小，调节所述被驱动电极的排斥距离。 5.根据权利要求2所述的风速风向传感器，其特征在于，所述双端固支梁包括接触部和凸起部，所述接触部设置于所述基底层，所述凸起部与所述接触部连接，所述被驱动电极设置于所述凸起部的内表面，所述测量电阻设置于所述凸起部的外表面。 6.根据权利要求5所述的风速风向传感器，其特征在于，所述测量电阻包括第一测量电阻、第二测量电阻、第三测量电阻和第四测量电阻，所述第一测量电阻和所述第二测量电阻以所述凸起部的中心点为中心对称分布，所述第三测量电阻和所述第四测量电阻以所述凸起部的中心点为中心，以所述第一测量电阻和所述第二测量电阻的中心点连接线为对称轴对称分布。 7.根据权利要求1所述的风速风向传感器，其特征在于，所述基底层包括氧化层和衬底，所述双端固支梁、所述氧化层和所述衬底依次设置，所述空腔设置于所述氧化层与所述双端固支梁之间。 8.根据权利要求7所述的风速风向传感器，其特征在于，所述衬底为硅衬底，所述氧化层为二氧化硅氧化层。 9.根据权利要求1所述的风速风向传感器，其特征在于，所述双端固支梁为氮化硅材质的薄膜。 10.一种检测装置，其特征在于，所述装置包括基于静电排斥力可重构的风速风向传感器和控制器，所述控制器连接所述基于静电排斥力可重构的风速风向传感器，所述控制器用于根据权利要求1-9任意一项所述的基于静电排斥力可重构的风速风向传感器得到风速和风向的测试结果。