1.一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，其特征在于，包括转盘、基板、晶圆固定座以及多个沿所述基板周向设置的夹持机构，基板通过连接轴转动连接在所述转盘上方，所述晶圆固定座设置在多个夹持机构的中心处，每一个夹持机构均包括用于夹持晶圆的第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板通过弹簧杆转动连接在第二夹持板上，第一夹持板的内侧设有第一弧形槽，第二夹持板的内侧设有第二弧形槽，夹持机构下方还固定有支撑杆，基板上设有通槽，转盘上设有与所述通槽对应的弧形槽，所述支撑杆的一端穿过通槽并延伸至所述弧形槽内，基板上还设有用于限制支撑杆向基板外沿运动的压力弹簧，第一夹持板的下方设有与第一夹持板一体成型的第一固定板，所述第二夹持板的下方设有与第二夹持板一体成型的第二固定板，弹簧杆转动连接在所述第一固定板和第二固定板之间，第一固定板和第二固定板上均设有安装板 ，所述弹簧杆包括导向杆、滑杆以及伸缩弹簧，所述滑杆套设在导向杆内并可沿导向杆的长度方向滑动，所述伸缩弹簧套设在导向杆的外壁上，且伸缩弹簧的两端分别固定在导向杆和滑杆上，导向杆和滑杆穿过安装板分别与第一固定板和第二固定板之间转动连接。
2.根据权利要求1所述的一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，其特征在于，所述连接轴上方设有电动伸缩杆，晶圆固定座固定在所述电动伸缩杆的伸缩端，晶圆固定座上还设有真空吸盘。
3.根据权利要求1所述的一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，其特征在于，所述第一夹持板的外侧还设有与所述第二弧形槽配合的弧形面，所述弧形面在弹簧杆的作用下抵接在第二弧形槽内。
4.根据权利要求1所述的一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，其特征在于，所述第一夹持板和第一固定板的连接处有与第二夹持板下表面配合的定位平台。
5.根据权利要求1所述的一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，其特征在于，所述导向杆和第二固定板之间、所述滑杆和第一固定板之间均通过球头和球碗配合的方式转动连接。
6.根据权利要求1所述的一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，其特征在于，所述第一固定板和第二固定板上的安装板之间设有弹性簧片。
7.根据权利要求1所述的一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，其特征在于，所述基板上还设有用于检测外围上片机构动作的传感器。
8.根据权利要求1所述的一种多尺寸的晶圆预对准定心装置，其特征在于，所述支撑杆延伸至弧形槽一端的端部上设有滚轮，支撑杆通过所述滚轮与弧形槽之间滑动连接。
