基于激光诱导击穿光谱的纵向深度元素定量分析方法

1.基于激光诱导击穿光谱的纵向深度元素定量分析方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、使用偏最小二乘法对标准样品对应的LIBS的烧蚀深度数据进行训练，获得深度预测模型；具体包括以下子步骤：S11、制备标准样品：根据待测样品元素成分设计标准样品的一系列元素含量比值，将一系列不同元素比例的粉末原料混合均匀，分别经过手动压片机压成薄片，获得一系列不同元素含量的标准样品；S12、LIBS光谱采集：对标准样品分别利用LIBS技术进行不同脉冲次数的烧蚀，并进行光谱采集；S13、获得烧蚀深度值：使用共聚焦显微镜测定S11标准样品在不同脉冲次数下的烧蚀深度值；S14、建立烧蚀深度预测模型：选取S12中采集的LIBS光谱中含量最高的元素的多条谱线，将多条谱线强度组成向量作为偏最小二乘法的输入数据；将S13获得的烧蚀深度值作为偏最小二乘法的标签；然后将输入数据和标签进行拟合，获得深度预测模型；S2、对待测样品元素定量深度分布进行分析；具体包括以下子步骤：S21、对待测样品分别利用LIBS技术进行不同脉冲次数的烧蚀，并进行光谱采集；S22、通过S21采集的光谱以及S14得到的深度预测模型对待测样品的烧蚀深度值进行预测；S3、通过定标法或非定标法对待测样品中的元素含量进行分析；S4、通过S22预测的深度值与S3计算的元素含量完成对待测样品元素深度分布的定量分析：将S22中预测的烧蚀深度值与S3中计算的目标元素含量分别作为横坐标和纵坐标做图，获得的待测样品中目标元素的含量深度分布。 2.根据权利要求1所述的基于激光诱导击穿光谱的纵向深度元素定量分析方法，其特征在于，所述定标法具体为：选取S12中LIBS光谱中轮廓清楚的多条谱线，使用目标元素谱线强度与目标元素含量进行拟合，或者目标元素的强度比值与目标元素的含量比值进行拟合，从而拟合出不同的定标曲线；然后采用多次交叉验证方法对拟合出的定标曲线进行验证，并选取平均百分比偏差最小的定标曲线作为最优定标曲线；最后将待计算目标元素谱线强度或目标元素的强度比值带入最优定标曲线得出目标元素含量或目标元素的含量比值。