有效

一种薄涂层的制备方法及系统

吴影、陈辉、刘艳、胡登文、张振林、王丽君
西南交通大学

摘要

本发明公开了一种薄涂层的制备方法及系统,属于涂层制备技术领域。该方法包括:采用超快激光沉积技术将超快激光按预设的扫描路径烧蚀靶材,激发靶材表面形成羽辉并在工件上形成疏松的金属纳米粉末预置层或致密的金属连续介质预置层;采用连续激光选区熔化或连续激光选区辐照技术将连续激光按预设的扫描路径对预置层进行原位熔化或辐照,得到预设厚度的涂层;制备过程于真空环境或气氛保护环境下进行。相应的制备系统包括密封腔体、超快激光设备、连续激光设备、抽真空部件和保护气体填充部件。上述制备系统和方法,可适用于金属材料的薄涂层制备,具有效率高及膜基结合强的特点,能满足不同金属材料薄涂层的制备需求。