1.一种反射式法布里珀罗光栅干涉位移测量方法，其特征在于，由稳频光源（1）发出光束，经过分光器件（21）分束；分光器件（21）输出的第一光束，通过第一环行器件（22a）后，产生第一入射光，进入由第一腔镜（31a）和光栅（32）构成的F-P腔，产生的第一干涉光束依次通过第一腔镜（31a）、第一环行器件（22a），被第一光电探测器（4a）接收；分光器件（21）输出的第二光束，通过第二环行器件（22b）后，产生第二入射光，进入由第二腔镜（31b）和光栅（32）构成的另一个F-P腔，产生的第二干涉光束依次通过第二腔镜（31b）、第二环行器件（22b），被第二光电探测器（4b）接收；由第一光电探测器（4a）接收到的第一干涉信号和第二光电探测器（4b）接收到的第二干涉信号传输至信号处理模块（5），经信号处理模块（5）处理获得第一多光束干涉相位和第二多光束干涉相位，并解耦得到光栅（32）面内面外二自由度位移信息；在所述第一环行器件（22a）、第二环行器件（22b）与光栅（32）之间，放置光线偏折器件使第一入射光、第二入射光的光轴与光栅（32）法线呈＋m阶或-m阶Littrow角，其中m为大于等于1的正整数。
2.根据权利要求1所述的反射式法布里珀罗光栅干涉位移测量方法，其特征在于，所述第一腔镜（31a）和所述第二腔镜（31b）为反射式分光器件或衍射式分光器件。
3.根据权利要求1所述的反射式法布里珀罗光栅干涉位移测量方法，其特征在于，所述第一入射光、第二入射光的光轴与光栅（32）法线呈＋m阶或-m阶Littrow角，其中m为大于等于1的正整数；或，所述第一入射光、第二入射光的光轴与光栅（32）法线平行；或，所述第一入射光、第二入射光的光轴既不与光栅（32）法线平行，也不呈任一阶Littrow角。
4.根据权利要求1所述的反射式法布里珀罗光栅干涉位移测量方法，其特征在于，包括至少一个光线偏折器件。
5.一种反射式法布里珀罗光栅干涉位移测量系统，其特征在于，包括稳频光源（1）、分光器件（21）、第一环行器件（22a）、第二环行器件（22b）、第一腔镜（31a）、第二腔镜（31b）、光栅（32）、第一光电探测器（4a）、第二光电探测器（4b）和信号处理模块（5）：第一腔镜（31a）与光栅（32）、第二腔镜（31b）与光栅（32）分别构成F-P腔；由稳频光源（1）发出光束，经过分光器件（21）分束；分光器件（21）输出的第一光束，通过第一环行器件（22a）后，产生第一入射光，进入由所述第一腔镜（31a）和光栅（32）构成的F-P腔，产生的第一干涉光束依次通过第一腔镜（31a）、第一环行器件（22a），被第一光电探测器（4a）接收；分光器件（21）输出的第二光束，通过第二环行器件（22b）后，产生第二入射光，进入由所述第二腔镜（31b）和光栅（32）构成的F-P腔，产生的第二干涉光束依次通过第二腔镜（31b）、第二环行器件（22b），被第二光电探测器（4b）接收；由第一光电探测器（4a）接收到的第一干涉信号和第二光电探测器（4b）接收到的第二干涉信号传输至信号处理模块（5），经信号处理模块（5）处理获得第一多光束干涉相位和第二多光束干涉相位，并解耦得到光栅（32）面内单自由度位移信息，或光栅（32）面内面外二自由度同步位移信息；所述稳频光源（1）发出的光束在进入所述分光器件（21）之前，经过光隔离器；和/或，在第一腔镜（31a）、第二腔镜（31b）与光栅（32）之间存在至少一个光线偏折器件（6）。
6.根据权利要求5所述的反射式法布里珀罗光栅干涉位移测量系统，其特征在于，第一环行器件（22a）输出的第一入射光经过第一准直器件（23a）形成空间传输光路后进入第一F-P腔；和/或，第二环行器件（22b）输出的第二入射光经过第二准直器件（23b）形成空间传输光路后进入第二F-P腔。
7.根据权利要求5所述的反射式法布里珀罗光栅干涉位移测量系统，其特征在于，第一腔镜（31a）通过粘接、镀膜、机械刻划或光刻的方式集成在第一准直器件（23a）的出光表面；和/或，第二腔镜（31b）通过粘接、镀膜、机械刻划或光刻的方式集成在第二准直器件（23b）的出光表面。
8.根据权利要求5所述的反射式法布里珀罗光栅干涉位移测量系统，其特征在于，进入第一F-P腔的空间传输光路的光轴与第一腔镜（31a）垂直，且与光栅（32）法线呈＋m或-m阶Littrow角，其中m为大于等于1的正整数；和/或，进入第二F-P腔的空间光路的光轴与第二腔镜（31b）垂直，且与光栅（32）法线呈＋m或-m阶Littrow角，其中m为大于等于1的正整数。
