一种盾构机主轴承油脂温压监测传感器制备方法

本发明公开了一种盾构机主轴承油脂温压监测传感器制备方法，涉及盾构机主轴承油脂温压监测传感器技术领域，包括热氧氧化、刻蚀轻掺、重掺引线、刻蚀引线孔、TSV‑刻蚀通孔、TSV铸铜、刻蚀真空腔室、键合介质层、基片键合、背腔深硅刻蚀、铂热敏电阻、重新布线(RDL)、阻焊层、助焊层、植球；有益效果在于：本发明采用了温度与压力集成式传感器制备方法可以实现温度与压力的实时在线检测与监测，并突破的复杂的传感器制备工艺；本发明选取了制作通孔内壁较为光滑、高深宽比且对损伤较小的DRIE，提高了检测的数据精确性以及参数获取的可靠性，能够实现测距检测。