一种MEMS色谱柱与热导检测器一体化装置

1.一种MEMS色谱柱与热导检测器一体化装置，其特征在于，包括无底面的封装外壳、进样转接头、排气转接头、检测信号转接头、温度传感信号转接头、色谱柱基底、MEMS色谱柱、MEMS热导检测器、隔热板和导热垫；MEMS色谱柱固定在色谱柱基底上，色谱柱基底和MEMS热导检测器分别通过固定件与封装外壳的内壁固定连接；导热垫分别设置在色谱柱基底和MEMS热导检测器的底部，且通过固定件固定在封装外壳的底部；进样转接头一端与MEMS色谱柱的毛细管柱一端连接，毛细管柱另一端通过第一封堵接头与MEMS色谱柱的填充柱输入端固定连接，填充柱的输出端通过第二封堵接头与MEMS热导检测器进气口固定连接，MEMS热导检测器出气口与排气转接头连接，MEMS热导检测器的热丝两端通过引线与检测信号转接头的输入端连接，色谱柱基底底部的导热垫设置有第一温度传感器，MEMS热导检测器底部的导热垫设置有第二温度传感器，第一温度传感器和第二温度传感器分别与温度传感信号转接头的输入端连接；隔热板一体化设置在封装外壳的内壁上，且位于色谱柱基底和MEMS热导检测器之间，用于隔绝MEMS色谱柱和MEMS热导检测器之间的热量传导。 2.根据权利要求1所述的MEMS色谱柱与热导检测器一体化装置，其特征在于，导热垫为石墨烯导热垫。 3.根据权利要求1所述的MEMS色谱柱与热导检测器一体化装置，其特征在于，第一封堵接头和第二封堵接头为高温硅胶套。 4.根据权利要求1所述的MEMS色谱柱与热导检测器一体化装置，其特征在于，进样转接头和排气转接头的对外连接方式为螺纹连接。 5.根据权利要求1所述的MEMS色谱柱与热导检测器一体化装置，其特征在于，检测信号转接头和温度传感信号转接头的对外连接方式为卡扣连接。