失效

一种低能电子加速器防臭氧侵蚀的系统

党星、史浩、胡涛、琚晓磊、覃怀丽、刘燕琴、郭立云
同威信达技术(江苏)股份有限公司

摘要

本专利公开了低能电子加速器防臭氧侵蚀的系统。利用风刀装置将气压合适、洁净干燥的空气吹在低能电子加速器的钛膜及其附近,防止臭氧和水汽在钛膜附近堆积。利用自屏蔽的排风系统避免臭氧和水汽在整个辐照区域堆积并产生负压区。

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