1.一种基于全光纤正交偏振光程匹配短相干光源的干涉测量方法，其特征在于，步骤如下：步骤1、将全光纤正交偏振光程匹配短相干光源与干涉仪(8)通过光纤接头(7)连接；所述全光纤正交偏振光程匹配短相干光源包括短相干激光器(1)、第一保偏光纤(2-1)、光纤偏振分束器(3)、第二保偏光纤(2-2)、光纤可调衰减器(4)、第三保偏光纤(2-3)、第四保偏光纤(2-4)、光纤延迟线(5)、第五保偏光纤(2-5)、光纤偏振合束器(6)、第六保偏光纤(2-6)；步骤2、将被测件(9)置于干涉仪(8)的测试光路中，控制干涉腔长为全光纤正交偏振光程匹配短相干光源中S光光路与P光光路长度差值的自由空间等效光程；步骤3、打开短相干激光器(1)，通过光纤延迟线(5)调节正交偏振光束间光程差，观察干涉仪(8)偏振相机所接收灰度图像的对比度变化，当发生突变，出现干涉条纹时即为光程匹配最佳位置附近，进一步调节，当干涉条纹最为清晰，对比度最佳则为光程匹配最佳位置即零光程位置；步骤4、通过光纤可调衰减器(4)调节正交偏振光束间光强差，直至干涉条纹对比度最佳；步骤5、通过干涉仪(8)偏振相机采集短相干干涉条纹图，并用四步移相算法进行解算。
2.根据权利要求1所述的基于全光纤正交偏振光程匹配短相干光源的干涉测量方法，其特征在于：在全光纤正交偏振光程匹配短相干光源中，短相干激光器(1)通过第一保偏光纤(2-1)与光纤偏振分束器(3)连接，光纤偏振分束器(3)将光路分为两路，即P光光路和S光光路；沿P光光路依次布置第二保偏光纤(2-2)、光纤可调衰减器(4)和第三保偏光纤(2-3)；沿S光光路依次布置第四保偏光纤(2-4)、光纤延迟线(5)和第五保偏光纤(2-5)；第三保偏光纤(2-3)和第五保偏光纤(2-5)的输出端均连接光纤偏振合束器(6)，光纤偏振合束器(6)将两条光路再次合为一路，并通过第六保偏光纤(2-6)与光纤接头(7)连接；短相干激光器(1)输出光通过第一保偏光纤(2-1)进入光纤偏振分束器(3)，光纤偏振分束器(3)将光束分为两束短相干正交线偏振光，即S光和P光；其中P光经第二保偏光束(2-2)输入光纤可调衰减器(4)后，再经第三保偏光纤(2-3)将经过衰减调节的P光束输入光纤偏振合束器(6)；S光经第四保偏光纤(2-4)输入光纤延迟线(5)，经光纤延迟线(5)调节光程后由第五保偏光纤(2-5)输入光纤偏振合束器(6)；处理后的P光和S光经光纤偏振合束器(6)合束后形成光程差可调节的短相干正交偏振光，通过第六保偏光纤(2-6)连接光纤接头(7)输出一对光程差可调的偏振方向正交的线偏振光。
3.根据权利要求2所述一种基于全光纤正交偏振光程匹配短相干光源的干涉测量方法，其特征在于：所述短相干激光器(1)输出光为宽光谱线偏振激光，激光频率及功率稳定性满足干涉测量条纹稳定性要求。
4.根据权利要求3所述一种基于全光纤正交偏振光程匹配短相干光源的干涉测量方法，其特征在于：所述光纤偏振分束器(3)包括第一输入端口、第一输出端口、第二输出端口，其中第一输出端口为P光输出端口，第二输出端口为S光输出端口；第一保偏光纤(2-1)与第一输入端口连接，其慢轴方向与光纤偏振分束器(3)分光方向呈45°对准；第二保偏光纤(2-2)与第一输出端口连接，其慢轴方向平行于P光偏振方向；第四保偏光纤(2-4)与第二输出端口连接，其慢轴方向平行于S光偏振方向。
5.根据权利要求4所述一种基于全光纤正交偏振光程匹配短相干光源的干涉测量方法，其特征在于：所述光纤延迟线(5)的光程延迟量通过转动螺母进行调节，调节范围远大于检测被测件9表面形貌所需垂轴测量范围，调节精度远小于短相干激光器(1)所输出宽光谱线偏振激光相干长度。
6.根据权利要求5所述一种基于全光纤正交偏振光程匹配短相干光源的干涉测量方法，其特征在于：所述光纤偏振合束器(6)包括第二输入端口、第三输入端口和第三输出端口，其中第二输入端口为P光输入端口，第三输入端口为S光输入端口；第三保偏光纤(2-3)与第二输入端口连接，其慢轴方向与第二保偏光纤(2-2)相同；第五保偏光纤(2-5)与第三输入端口连接，其慢轴方向与第四保偏光纤(2-4)相同；第六保偏光纤(2-6)与第三输出端口连接，其慢轴方向与第三保偏光纤(2-3)相同。
7.根据权利要求1所述一种基于全光纤正交偏振光程匹配短相干光源的干涉测量方法，其特征在于：干涉仪(8)采用泰曼·格林型或斐索型动态干涉仪。
