1.变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置，包括：驱动电机(7)，PLC控制器(10)，其特征在于，所述装置还包括：压力传感器(4)，一级压缩缸(5)，一级安全阀(6)，二级压缩缸(8)，变频控制器(9)，二级安全阀(11)；其中一级压缩缸(5)和二级压缩缸(8)均包括：驱动件，入口管和出口管；一级压缩缸(5)设置在压力调节阀(2)出口处，二级压缩缸(8)的进气端与一级压缩缸(5)的排气端连接，一级压缩缸(5)和二级压缩缸(8)均由驱动电机(7)驱动，用于吸气压缩并排出SF 6 气体，二级压缩缸(8)出口集成单向阀；一级安全阀(6)安装于一级压缩缸(5)出口管上，二级安全阀(11)安装于二级压缩缸(8)出口管上，一级安全阀(6)和二级安全阀(11)均用于出口管的过压保护；一个压力传感器(4)安装在一级压缩缸(5)入口管处，另一个压力传感器(4)安装在二级压缩缸(8)出口管处，用于监测一级压缩缸(5)入口管处和二级压缩缸(8)出口管处位置的压力或真空，输出压缩机启停控制信号和压力保护测量信号至PLC控制器(10)；驱动电机(7)输入端与变频控制器(9)连接，用于接收变频控制器(9)的控制信号，输出端与一级压缩缸(5)和二级压缩缸(8)的驱动件连接，并驱动一级压缩缸(5)和二级压缩缸(8)；PLC控制器(10)输入端接收压力传感器(4)反馈的压缩机启停控制信号和压力保护测量信号，输出端与变频控制器(9)连接，用于控制变频控制器(9)的运行；变频控制器(9)输入控制信号端与PLC控制器(10)连接，输出端与驱动电机(7)连接，根据压缩机压力输入信号调节输出控制信号，从而控制驱动电机(7)的执行；双级压缩机装置还包括入口缓冲罐(3)，入口缓冲罐(3)设置在一级压缩缸(5)入口管处，用于减少装置入口气流的脉动，还用于为一级安全阀(6)和二级安全阀(11)内泄释放SF 6 提供储存空间。
2.根据权利要求1所述的变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置，其特征在于：双级压缩机装置还包括入口低压过滤器(1)，入口低压过滤器(1)设置在一级压缩缸(5)的入口处,用于对一级压缩缸(5)吸入的SF 6 气体过滤；入口低压过滤器(1)采用微米级大表面积过滤网材料，同时设置透明观察窗。
3.根据权利要求1所述的变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置，其特征在于：双级压缩机装置还包括压力调节阀(2)，安装在一级压缩缸(5)入口处，用于调节一级压缩缸(5)吸入气体压力。
4.根据权利要求1所述的变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置，其特征在于：一级压缩缸(5)和二级压缩缸(8)均采用无油运行的压缩缸。
5.根据权利要求1所述的变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置，其特征在于：双级压缩机装置还包括双级冷却器(12)，安装于二级压缩缸(8)出口处，用于对一级压缩缸(5)压缩后的级间气体和二级压缩缸(8)压缩后的气体进行冷却。
6.根据权利要求5所述的变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置，其特征在于：双级压缩机装置还包括冷却风扇(13)，为双级冷却器(12)提供强制空气风冷的动力。
7.根据权利要求6所述的变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置，其特征在于：双级压缩机装置还包括出口组合过滤器(14)，安装在双级压缩机装置出口处，出口组合过滤器(14)用于颗粒杂质微米级过滤，水分干燥吸附过滤和气态SF6分解物过滤。
8.变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置的工作方法，基于权利要求1至7任一项所述的变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置而实现，其特征在于，所述工作方法包括：步骤1，入口低压过滤器对一级压缩缸吸入的SF 6 气体进行过滤；步骤2，一级压缩缸和二级压缩缸对过滤后的SF 6 气体进行压缩；步骤3，压力传感器对一级压缩缸和二级压缩缸中的气体进行检测，提供压缩机启停控制信号和压力保护测量信号至PLC控制器；步骤4，PLC控制器输入端接收压力传感器反馈的压缩机启停控制信号和压力保护测量信号，输出控制和调节指令给变频控制器；步骤5，变频控制器根据PLC控制器的控制和调节指令来控制驱动电机的执行；步骤6，驱动电机驱动一级压缩缸和二级压缩缸，压缩SF 6 气体；步骤7，双级冷却器和冷却风扇对一级压缩后的级间气体和二级压缩缸压缩后的气体进行冷却；步骤8，出口组合过滤器过滤气态SF 6 分解物。
9.根据权利要求8所述的变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置的工作方法，其特征在于：步骤2中，通过压力调节阀控制一级压缩缸吸入气体的平稳。
10.根据权利要求8所述的变频反馈控制式无排放SF 6 双级压缩机装置的工作方法，其特征在于：步骤6中，当一级压缩缸或者二级压缩缸进行压力释放和泄压时，打开一级安全阀或者二级安全阀，释放的气体SF 6 导入缓冲罐。
