有效

适用于辉光放电光谱仪的样品真空转移装置及其使用方法

初青伟、吴安东、郭浩、李生伟、何源、谭腾、李璐
中国科学院近代物理研究所

摘要

本发明公开了一种适用于辉光放电光谱仪的样品真空转移装置及其使用方法,其中样品真空转移装置包括样品盘、直线推动机构、抽真空机构,样品盘连接有旋转轴,样品盘上设置有至少一个样品槽;直线推动机构包括波纹管、推杆、推杆套筒、后连接座、前连接座;抽真空机构包括高真空插板阀和三通接头,波纹管的后端密封,波纹管、高真空插板阀和三通接头从左至右依次连接形成一个外套管,外套管设置于旋转轴的外侧。本发明公开的一种适用于辉光放电光谱仪的样品真空转移装置及其使用方法,不仅可以直接与制备样品的真空泵对接,还能在手套箱内使用,能够实现对辉光放电光谱仪的样品进行真空转移。