免转移石墨烯多功能器件

1.一种免转移石墨烯多功能器件，其特征在于：所述多功能器件包括依次相叠的顶部镜子(1)、光子晶体缺陷腔(2)、底部镜子(3)以及蓝宝石光栅光子晶体多功能吸波结构；所述蓝宝石光栅光子晶体多功能吸波结构具体结构为：蓝宝石(4)、附着在蓝宝石表面的单层石墨烯(5)以及光栅(6)；所述蓝宝石光栅光子晶体多功能吸波结构具有三个吸波模式；三个所述吸波模式在不改变所述蓝宝石光栅光子晶体多功能吸波结构的基础上，通过改变所述单层石墨烯的化学势实现吸波率的调节；所述光子晶体缺陷腔为二氧化硅；所述光栅为硅；所述顶部镜子和底部镜子均是由硅和二氧化硅堆栈而成的分层结构，顶部镜子表示为(B/A) n ，底部镜子表示为(B/A) m ，A代表二氧化硅，B代表硅，n为前端镜子的层数，m为后端镜子的层数，二氧化硅的介电常数ε A ＝3.9。 2.如权利要求1所述的一种免转移石墨烯多功能器件，其特征在于，所述多功能器件工作波长为1.55μm。 3.如权利要求1所述的一种免转移石墨烯多功能器件，其特征在于，所述蓝宝石厚度为5μm，所述单层石墨烯厚度为0.34nm，所述光栅周期为p 1 ，光栅的脊之间的间隙由空气填充，占空比为η 1 ＝w 1 /p 1 ，w 1 为光栅栅脊宽度。