一种声表面波气体传感器的镀膜方法

本发明公开了一种声表面波气体传感器的镀膜方法，所述镀膜方法的步骤包括：1)旋涂或滴涂SXFA溶液至镀膜区(3)；2)将声表面波气体传感器在50‑80℃的烘干温度下，进行1‑2小时的烘干；3)在烘干期间，镀膜专用声表面波叉指换能器(6)交替产生声表面波，驱动SXFA溶液均匀分布在镀膜区(3)的金属膜(7)的表面上；4)烘干完成后去除镀膜专用声表面波叉指换能器(6)。本发明减少了烘干过程中产生的聚合物分子团聚现象，降低了传感器器件损耗，提高了传感器响应幅度。