有效

一种基于掩膜信息的尺寸测量方法及评分系统

林建宇、陈浙泊、潘凌锋、陈一信、余建安、陈镇元、陈龙威、叶雪旺、吴荻苇
浙江大学台州研究院

摘要

一种基于掩膜信息的尺寸测量方法及评分系统,其中系统包括操作模块和检测模块,所述操作模块包括系统设置模块以及尺寸测量模块;系统设置模块包括参数配置、试题制作以及模板校准功能;进入系统设置模块需要输入密码;尺寸测量模块包括正面尺寸测量和侧面尺寸测量的功能;尺寸测量评分系统还包括退出系统模块;本发明通过设置尺寸测量界面完成参数配置、试题制作、模板校准以及尺寸测量的功能,实现模板的制作以及待检测零件的精确测量;并通过模板信息提取制作试题的模板源图,用于和待检测零件进行比较,进而实现打分。