1.一种氧化镓衬底表面研磨形貌预测方法，其特征在于，包括：获取待测氧化镓衬底远离抛光垫的一面的均布载荷；将所述均布载荷输入预先训练的有限元模型，获得所述待测氧化镓衬底与所述抛光垫之间的接触压力；根据所述接触压力、研磨粒子的浓度、所述待测氧化镓衬底的硬度、所述研磨粒子的直径、研磨系数、研磨转速、研磨时间和所述待测氧化镓衬底的面积计算得到所述待测氧化镓衬底的研磨去除率；根据所述氧化镓衬底的研磨去除率、所述氧化镓衬底的各个部分的原高度和所述氧化镓衬底研磨后的平均高度计算得到所述氧化镓衬底表面的算术平均粗糙度；所述根据所述接触压力、研磨粒子的浓度、所述氧化镓衬底的硬度、所述研磨粒子的直径、研磨系数、研磨转速、研磨时间和所述待测氧化镓衬底的面积计算得到所述待测氧化镓衬底的研磨去除率，包括：根据所述待测氧化镓衬底的面积、所述研磨粒子的浓度和所述研磨粒子的直径计算得到有效研磨粒子数量；根据所述接触压力、所述待测氧化镓衬底的面积和所述有效研磨粒子数量计算得到单个研磨粒子的受力；根据所述受力、所述待测氧化镓衬底的硬度和所述研磨粒子的直径计算得到所述研磨粒子在所述待测氧化镓衬底表面的压入深度；根据所述压入深度、所述研磨系数、所述研磨转速、所述研磨时间和所述研磨粒子的直径计算得到所述单个研磨粒子的去除量；根据所述有效研磨粒子数量、所述单个研磨粒子的去除量和所述待测氧化镓衬底的面积计算得到所述待测氧化镓衬底的研磨去除率。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述均布载荷输入预先训练的有限元模型之前，所述方法还包括：获取初始有限元模型的训练集，所述训练集包括：已知氧化镓衬底远离所述抛光垫的一面的均布载荷和所述已知氧化镓衬底与所述抛光垫之间的接触压力；利用所述训练集学习均布载荷和接触压力的映射关系；根据所述映射关系训练所述初始有限元模型得到所述预先训练的有限元模型。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述有效研磨粒子数量的具体计算公式为： ；其中，Na为所述有效研磨粒子数量、 为所述氧化镓衬底的面积、 为所述研磨粒子的浓度，D为所述研磨粒子的直径。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述单个研磨粒子的受力的具体计算公式为： ；其中，F为所述单个研磨粒子的受力、 为所述接触压力。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述压入深度的具体计算公式为： ；其中， 为所述压入深度， H为所述氧化镓衬底的硬度。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述单个研磨粒子的去除量的具体计算公式为： ；其中， 为所述单个研磨粒子的去除量，K为所述研磨系数，V为所述研磨转速，t为所述研磨时间。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述待测氧化镓衬底的研磨去除率的具体计算公式为： ；其中， 为所述待测氧化镓衬底的研磨去除率。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述待测氧化镓衬底表面的算术平均粗糙度的具体计算公式为： ；其中，Ra为所述待测氧化镓衬底表面的算术平均粗糙度， ， 为所述待测氧化镓衬底的各个部分的原高度， 为所述待测氧化镓衬底研磨后的各个部分的高度， 为所述待测氧化镓衬底研磨后的平均高度，n为所述待测氧化镓衬底分成的各个部分的总数量。
9.一种氧化镓衬底表面研磨形貌预测装置，其特征在于，包括：获取单元，用于获取待测氧化镓衬底远离抛光垫的一面的均布载荷；输入单元，用于将所述均布载荷输入预先训练的有限元模型，获得所述待测氧化镓衬底与所述抛光垫之间的接触压力；第一计算单元，用于根据所述接触压力、研磨粒子的浓度、所述待测氧化镓衬底的硬度、所述研磨粒子的直径、研磨系数、研磨转速、研磨时间、所述氧化镓衬底的面积计算得到所述待测氧化镓衬底的研磨去除率；第二计算单元，用于根据所述氧化镓衬底的研磨去除率、所述氧化镓衬底的各个部分的原高度和所述待测氧化镓衬底研磨后的平均高度计算得到所述氧化镓衬底表面的算术平均粗糙度；所述第一计算单元，具体用于：根据所述待测氧化镓衬底的面积、所述研磨粒子的浓度和所述研磨粒子的直径计算得到有效研磨粒子数量；根据所述接触压力、所述待测氧化镓衬底的面积和所述有效研磨粒子数量计算得到单个研磨粒子的受力；根据所述受力、所述待测氧化镓衬底的硬度和所述研磨粒子的直径计算得到所述研磨粒子在所述待测氧化镓衬底表面的压入深度；根据所述压入深度、所述研磨系数、所述研磨转速、所述研磨时间和所述研磨粒子的直径计算得到所述单个研磨粒子的去除量；根据所述有效研磨粒子数量、所述单个研磨粒子的去除量和所述待测氧化镓衬底的面积计算得到所述待测氧化镓衬底的研磨去除率。
