一种高纯度的钨钛合金靶材的制备方法

1.一种高纯度的钨钛合金靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法具体包括以下步骤：S1）提纯仲钨酸铵；具体为：S1.1）以仲钨酸铵为原料，加入到摩尔浓度为15～30%的氨水中，过滤出不溶残渣物，调节pH值为7～9，S1.2）再加入阳离子交换树脂，静置后，再进行蒸发结晶，蒸发结晶温度为100～105℃，S1.3) 将S1.2）得到蒸发结晶固体在去离子水或酒精中洗涤，在温度为50～70℃下烘干，得到仲钨酸铵，所述仲钨酸铵的总杂质含量低于50ppm，Fe、Ni和不可避免的杂质含量低于20ppm；S2）合成钨钛合金粉末；具体为：S2.1）将S1）得到提纯后的仲钨酸铵采用氢气还原处理，得到总杂质含量低于30ppm的钨粉，氢气还原温度为900～950℃，保温时间为3～6h，氢气流量为5～10L/min；S2.2）将S2.1）得到的钨粉与TiH 2 粉末按照质量比为8～9：1～2混合均匀，置于保护气氛中；S3）将S2）得到钨钛合金粉末装入模具进行多阶段真空热压烧结，得到靶材坯；具体为：S3.1 )将S2）得到钨钛合金粉末装入石墨模具中，且钨钛合金粉末与模具之间隔板纸隔开，S3.2）将所述石墨模具置于真空环境中，第一步以3～5℃/min速率升温至1000～1100℃，保温3～5h，S3.3）再以10～15℃/min速率升温至1300～1400℃，并施加压力30～50MPa，保温4～6h，冷却脱模，即得到靶材坯；S4）对S3）得到的靶材坯进行表面酸洗纯净化，最终获得具有高致密度的高纯度钨钛合金靶材。 2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述S1.1）中仲钨酸铵溶于氨水中的浓度为300～400g/L，所述阳离子交换树脂为D001型树脂、D113型树脂、001×7型树脂或C160型树脂中的任意一种或至少两种的组合。 3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述S3.1）中的模具为石墨模具，隔板纸为纯度为99.99%的石墨纸。 4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述S4）中的所述酸洗溶液为硫酸、硝酸或盐酸。 5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述钨钛合金靶材致密度大于99.5%，纯度大于99.999%。