一种优化电极引出结构的压电压阻耦合电场传感器

本发明提供一种优化电极引出结构的压电压阻耦合电场传感器，该压电压阻耦合电场传感器通过玻璃层对压电晶体的四周进行支撑；玻璃层与半导体薄膜耦合；半导体薄膜的中心区域可自由振动且与压电晶体耦合；压电晶体和玻璃层也牢固的粘接在基底上；通过该结构可以将待测电场量转化为压电晶体的机械形变量，进而转化为电桥的输出电压量，是一种非接触式的间接电场测量方法，间接放大了压电材料的响应，提高了器件的稳定性和测量精度。