有效

一种谐振型传感器

南天翔、曹昌铭、马宇轩、田世伟
清华大学

摘要

本文公开一种谐振型传感器,包括:与谐振振子连接的一个以上支撑锚,支撑锚包括一个以上连接件形状的结构和一个以上支撑结构;其中,连接件结构用于与谐振振子的侧壁连接;支撑锚包含的连接件结构和支撑结构一体成型,组成的形状为除矩形和梯形以外的形状。本发明实施例通过由连接件结构和支撑结构组成的非矩形和非梯形结构的支撑锚,在保持支撑锚承受应力的同时提升了支撑锚的热阻,设计实现了满足灵敏度和响应时间要求的传感器。