失效
一种双束扫描电镜真空冷冻传输装置
季刚、张建国、李硕果、孙飞
中国科学院生物物理研究所
季
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张
张建国机构 暂无
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李
李硕果机构 暂无
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孙
孙飞机构 暂无
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摘要
本实用新型涉及一种双束扫描电镜真空冷冻传输装置,包括真空样品腔门、样品传输管、冷冻样品传输杆和角度调节装置。真空样品腔门密封连接于真空样品腔室的开口处,并设有样品传输窗口,样品传输管密封连接于样品传输窗口位置,与真空样品腔室连通。冷冻样品传输杆穿设于样品传输管内,外周与样品传输管动密封连接,用于将冷冻样品输送至真空样品腔室内,冷冻样品传输杆的端部能够与样品传输管卡接和/或解除卡接。角度调节装置设于真空样品腔门上,与样品传输管连接,当冷冻样品传输杆与样品传输管卡接时,角度调节装置适于带动样品传输管和冷冻样品传输杆同步转动,调节冷冻样品的倾转角度,满足冷冻样品的离子束加工和扫描电镜成像的需求。
1.一种双束扫描电镜真空冷冻传输装置,其特征在于,包括:真空样品腔门(1),密封连接于真空样品腔室(2)的开口处,所述真空样品腔门(1)上设有样品传输窗口(120);样品传输管(4),密封连接于所述样品传输窗口(120)位置,并与所述真空样品腔室(2)连通;冷冻样品传输杆(3),穿设于所述样品传输管(4)内,外周与所述样品传输管(4)内壁动密封连接,用于将冷冻样品(17)输送至真空样品腔室(2)内;所述冷冻样品传输杆(3)远离所述冷冻样品(17)的一端能够与所述样品传输管(4)卡接和/或解除卡接;角度调节装置(6),设于所述真空样品腔门(1)上,与所述样品传输管(4)连接;当所述冷冻样品传输杆(3)与所述样品传输管(4)卡接时,所述角度调节装置(6)适于带动所述样品传输管(4)和所述冷冻样品传输杆(3)同步转动,以调节所述冷冻样品(17)的倾转角度。
2.根据权利要求1所述的双束扫描电镜真空冷冻传输装置,其特征在于,还包括三维平移台(5);所述样品传输管(4)通过波纹管(12)连接于所述样品传输窗口(120)位置;所述三维平移台(5)与所述样品传输管(4)连接,并设于平移台支架(16)上,所述平移台支架(16)与所述角度调节装置(6)连接;当所述冷冻样品传输杆(3)与所述样品传输管(4)卡接时,所述三维平移台(5)工作能够带动所述样品传输管(4)和所述冷冻样品传输杆(3)同步移动,以调节所述冷冻样品(17)的位置。
3.根据权利要求2所述的双束扫描电镜真空冷冻传输装置,其特征在于,所述角度调节装置(6)包括:轴套真空板阀外壳组合体(610),一端密封连接于所述样品传输窗口(120)位置,另一端与所述波纹管(12)密封连接;蜗轮(630),设于轴盘(620)上,所述轴盘(620)可转动地套设于所述轴套真空板阀外壳组合体(610)的外周,并与所述平移台支架(16)固定连接;蜗杆(650),转动连接于蜗杆支架(640)上,所述蜗杆支架(640)连接于所述真空样品腔门(1)上;所述蜗杆(650)一端与电机(660)相连,并与所述蜗轮(630)相啮合,所述电机(660)工作能够带动与所述蜗杆(650)啮合的所述蜗轮(630)转动,进而带动所述轴盘(620)、所述平移台支架(16)、所述三维平移台(5)、所述样品传输管(4)和所述冷冻样品传输杆(3)同步旋转。
4.根据权利要求3所述的双束扫描电镜真空冷冻传输装置,其特征在于,所述角度调节装置(6)还包括同步套管(670);所述同步套管(670)套设于所述波纹管的外周,一端与所述波纹管的端部固定连接,另一端与所述平移台支架(16)连接;所述同步套管(670)设于所述轴套真空板阀外壳组合体(610)内,外周与所述轴套真空板阀外壳组合体(610)内壁动密封连接。
5.根据权利要求3所述的双束扫描电镜真空冷冻传输装置,其特征在于,还包括真空板阀(8);所述真空板阀(8)密封连接于所述轴套真空板阀外壳组合体(610)的真空板阀外壳侧面开口端,能够在所述冷冻样品传输杆(3)、所述样品传输管(4)、所述波纹管(12)、所述轴套真空板阀外壳组合体(610)和所述真空板阀(8)之间形成一密封通道,所述真空板阀(8)用于控制所述密封通道与所述真空样品腔室(2)的连通和/或关闭;当所述密封通道与所述真空样品腔室(2)连通时,所述冷冻样品传输杆(3)在手动控制和负压的作用下把装有冷冻样品(17)的一端送入所述真空样品腔室(2)内。
6.根据权利要求5所述的双束扫描电镜真空冷冻传输装置,其特征在于,还包括预抽真空阀(7);所述预抽真空阀(7)密封连接于所述样品传输管(4)上,并与所述密封通道连通,用于对所述密封通道预抽真空。
7.根据权利要求1所述的双束扫描电镜真空冷冻传输装置,其特征在于,还包括定位套管(15);所述定位套管(15)设于所述样品传输管(4)内,与所述样品传输管(4)轴向和周向定位连接,并位于所述样品传输管(4)靠近所述真空样品腔门(1)的一侧;所述定位套管(15)上设有Z型滑槽(151),所述冷冻样品传输杆(3)上设置有限位销钉(310);所述冷冻样品传输杆(3)穿设于所述定位套管(15)内,所述限位销钉(310)能够滑入和/或滑出所述Z型滑槽(151);当所述限位销钉(310)滑入所述Z型滑槽(151),并位于所述Z型滑槽(151)的转折部时,以限定所述冷冻样品传输杆(3)的预插入位置。
8.根据权利要求1所述的双束扫描电镜真空冷冻传输装置,其特征在于,所述样品传输管(4)远离所述真空样品腔门(1)的一侧设置有卡针(410),所述冷冻样品传输杆(3)远离所述冷冻样品(17)的一端设置有卡槽(320);所述卡针(410)能够插入和/或拔出所述卡槽(320);当所述卡针(410)插入所述卡槽(320)时,所述冷冻样品传输杆(3)与所述样品传输管(4)卡接;当所述卡针(410)拔出所述卡槽(320)时,所述冷冻样品传输杆(3)与所述样品传输管(4)解除卡接。
9.根据权利要求1所述的双束扫描电镜真空冷冻传输装置,其特征在于,所述冷冻样品传输杆(3)远离所述冷冻样品(17)的一端设置有杜瓦瓶(340),所述杜瓦瓶(340)用于对设于所述冷冻样品传输杆(3)上的冷冻样品(17)提供冷源。
10.根据权利要求6所述的双束扫描电镜真空冷冻传输装置,其特征在于,还包括控制器(11);所述控制器(11)分别与所述角度调节装置(6)、所述三维平移台(5)、所述真空板阀(8)和所述预抽真空阀(7)通讯连接,用于控制上述设备的启停。
暂无引用专利



