一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机

1.一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，包括防静电台面以及位于防静电台面上的真空吸盘，其特征在于：所述真空吸盘的水平测设有清洁机构，所述清洁结构包括吹气管，吹气管的一端设有进气孔，吹气管内部设有气流通道，吹气管正对真空吸盘的一侧开设若干出气孔，进气孔通过进气管道连接外部高纯度氮气源，出气孔的出气方向朝向真空吸盘表面。 2.根据权利要求1所述的一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，其特征在于：所述出气孔沿吹气管水平间隔分布，出气孔的分布长度大于真空吸盘的直径。 3.根据权利要求2所述的一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，其特征在于：所述真空吸盘直径为200mm，出气孔的分布长度为220mm，出气孔的孔径大小为1mm，出气孔的间距为2mm，吹气管的长度为230mm。 4.根据权利要求1所述的一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，其特征在于：所述吹气管的底部设有气管固定板，吹气管固定在气管固定板上。 5.根据权利要求1所述的一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，其特征在于：所述进气管道上安装电磁阀，真空吸盘处设置用于检测晶圆是否移除的传感器，传感器检测到放置在真空吸盘上的晶圆被移除后将信号反馈给微处理器，微处理器向电磁阀发送开启信号，从出气孔向真空吸盘吹气。 6.根据权利要求5所述的一种设有真空吸盘自清洁机构的撕膜机，其特征在于：所述传感器采用红外传感器或压力传感器。