有效

高频高Q值的声波谐振器及其制作方法

左成杰、戴忠斌、刘雪彦
中国科学技术大学

专利价值洞察

基于大模型深度解析专利商业价值

解决问题

如何提升声波谐振器的高频和高Q值性能

达成效果

实现了高频和高Q值的声波谐振器,满足5G和6G频段需求

主要用途

应用于5G和6G通信系统的滤波器

摘要

本申请公开了一种高频高Q值的声波谐振器及其制作方法,所述声波谐振器包括:衬底;设置于所述衬底一侧表面的释放层;设置于所述释放层背离所述衬底表面的压电层;设置于所述压电层背离所述释放层表面的多个金属电极;其中,所述释放层用于所述压电层与所述衬底之间的释放;当所述释放层释放时,在所述衬底与所述压电层之间形成刻蚀沟槽,以得到x‑cut压电薄膜‑40~+40度下S1振动模态的高频高Q值的声波谐振器。本方案通过旋转欧拉角,在x‑cut压电薄膜上激发出S1振动模态,特定角度(‑40~+40度)下实现品质因数(Q)超过5000甚至上万的高频高Q值的声波谐振器,以满足当前5G、6G频段下对滤波器高频率、高Q值的性能要求。