一种体声波谐振器

1.一种体声波谐振器，包括：压电材料薄膜(1)、底电极(2)、顶电极(3)和衬底(4)；其中，压电材料薄膜(1)设置有一个以上第一通孔(1-1)；底电极(2)和/或顶电极(3)为包含两个以上梳齿形结构的梳形电极；其中，所述第一通孔(1-1)在所述梳形电极的顶部所在平面上的第一投影区域为第一镂空区域；所述第一镂空区域和所述第一通孔(1-1)用于通过腐蚀性流体，以在衬底(4)上刻蚀空腔。 2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，仅所述顶电极(3)为所述梳形电极时，所述底电极(2)还设置有一个以上第二通孔(2-1)；其中，所述第一通孔(1-1)在所述底电极(2)的外周轮廓圈定的区域上的第二投影区域与所述第二通孔(2-1)的重叠区域为第二镂空区域；所述第二通孔(2-1)用于通过所述腐蚀性流体。 3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，仅所述底电极(2)为所述梳形电极时，所述顶电极(3)还设置有一个以上第三通孔(3-1)；其中，所述第一通孔(1-1)在所述顶电极(3)的外周轮廓圈定的区域上的第三投影区域与所述第三通孔(3-1)的重叠区域为第三镂空区域；所述第三通孔(3-1)用于通过所述腐蚀性流体。 4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述梳形电极中包含的所述梳齿形结构的宽度，以及所述梳形电极中的相邻的所述梳齿形结构的间隔通过仿真确定。 5.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一通孔(1-1)为以下任一形状：圆形、椭圆形、规则多边形、不规则四边形和不规则五边形。 6.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第二通孔(2-1)为以下任一形状：圆形、椭圆形、规则多边形、不规则四边形和不规则五边形。 7.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第三通孔(3-1)为以下任一形状：圆形、椭圆形、规则多边形、不规则四边形和不规则五边形。 8.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述顶电极(3)在所述底电极(2)顶部所在平面的投影，位于所述底电极(2)最小外接矩形圈定的区域内。 9.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一通孔(1-1)的面积与所述顶电极(3)最小外接矩形圈定区域的面积的比值为第一预设比值；所述第二通孔(2-1)的面积与所述顶电极(3)最小外接矩形圈定区域的面积的比值为第二预设比值；其中，所述第一预设比值大于0.0005但小于0.7；所述第二预设比值大于0.0005但小于0.7。 10.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第三通孔(3-1)的面积与所述顶电极(3)最小外接矩形圈定区域的面积的比值为第三预设比值；其中，所述第三预设比值大于0.0005但小于0.7。 11.根据权利要求4所述的体声波谐振器，其特征在于，所述衬底(4)上的空腔的上表面的面积与所述顶电极(3)的最小外接矩形圈定的区域的面积的比值为第四预设比值；其中，所述第四预设比值大于0.2但小于4。 12.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一镂空区域的面积与所述顶电极(3)最小外接矩形圈定区域的面积的比值为第五预设比值；所述第二镂空区域的面积与所述顶电极(3)最小外接矩形圈定区域的面积的比值为第六预设比值；其中，所述第五预设比值大于0.0005但小于0.7；所述第六预设比值大于0.0005但小于0.7。 13.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第三镂空区域的面积与所述顶电极(3)最小外接矩形圈定区域的面积的比值为第七预设比值；其中，所述第七预设比值大于0.0005但小于0.7。 14.根据权利要求1～13任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述压电材料薄膜(1)由一层以上以下任一压电材料组成：氮化铝、掺钪氮化铝、铌酸锂、钽酸锂和锆钛酸铅。 15.根据权利要求1～13任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述顶电极(3)由一层或多层导电材料组成；和/或，所述底电极(2)由一层或多层导电材料组成。 16.根据权利要求1～13任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述体声波谐振器还包括顶电极引出电极(6)；所述顶电极引出电极(6)和所述压电材料薄膜(1)之间设置有隔离层(7)或空腔(8)；其中，所述隔离层(7)或所述空腔(8)用于隔离所述顶电极引出电极(6)和所述压电材料薄膜(1)。 17.根据权利要求1～13任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述体声波谐振器还包括顶电极引出电极(6)和底电极引出电极(9)，所述压电材料薄膜(1)上刻蚀有隔离槽(1-2)；其中，所述隔离槽(1-2)在所述底电极(2)顶部所在平面的投影位于所述底电极(2)和所述底电极引出电极(9)组成的区域内；所述隔离槽(1-2)位于由所述底电极(2)和所述底电极引出电极(9)组成区域的最小外接矩形的外周轮廓与所述顶电极(3)的外周轮廓形成的中间区域。 18.根据权利要求1～13任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述梳形电极通过以下方式之一施加电压信号：均施加正电压；均施加负电压。 19.根据权利要求1～13任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述梳形电极为叉指电极时，所述梳形电极通过正电压和负电压交替的方式施加电压信号。