有效

一种哈特曼传感器的绝对标定方法

马晓燠、谭晓宁、杨奇龙、刘会龙、李成平、胡瑞、刘少平、贾天豪、游双慧、周万丽、蒋大勇、曾书
重庆连芯智能科技研究院有限公司

摘要

本发明提供一种哈特曼传感器的绝对标定方法,根据球面波数据,计算被测波面起伏均方根RMS,计算复原波前的RMS值,通过计算复原波前的RMS值与被测波面起伏均方根RMS之比值,实现对该哈特曼传感器的比例系数标定。本发明在位移距离较小时,产生的球面波前的RMS值误差率更小,即本发明产生的球面波前具有更高精确度和稳定性;在距离较大时,本发明与现有标定法的误差率会逐渐持平。