1.一种激光加工脆性材料多焦点裂片装置，其特征在于，包括：激光器，用以发射激光；光束扩束准直系统，设于激光传输的光路上，所述光束扩束准直系统用以对所述激光器发出的激光进行扩束；衍射元件，用以使激光产生多个衍射级次，通过控制不经过所述衍射元件的有效焦距和经过所述衍射元件后的有效焦距来控制多焦点之间的间隔；以及，光束聚焦系统，用以对激光进行聚焦，以使得激光在脆性材料的纵向位置上会形成多焦点；高频振荡器和滤光片，所述滤光片位于所述光束聚焦系统的下方，所述高频振荡器与所述滤光片驱动连接，其中，所述高频振荡器的振荡的级次为2级振荡，所述高频振荡器的振荡的频率与所述激光器最后选用的激光频率一致，所述高频振荡器的振荡的幅度为所述光束聚焦系统聚焦时在内部焦点的间隔。
2.如权利要求1所述的激光加工脆性材料多焦点裂片装置，其特征在于，所述激光加工脆性材料多焦点裂片装置还包括吸附台，所述吸附台位于所述光束聚焦系统的下方，所述吸附台用于固定脆性材料。
3.如权利要求2所述的激光加工脆性材料多焦点裂片装置，其特征在于，所述激光加工脆性材料多焦点裂片装置还包括驱动系统，所述驱动系统包括控制器和滑台，所述吸附台设于所述滑台上，所述控制器与所述滑台电连接，所述控制器控制所述滑台沿多个方向运动。
4.如权利要求1所述的激光加工脆性材料多焦点裂片装置，其特征在于，所述激光加工脆性材料多焦点裂片装置还包括成像系统和照明系统，所述照明系统产生的光照射在脆性材料上，并经过在脆性材料表面的反射进入成像系统。
5.如权利要求1所述的激光加工脆性材料多焦点裂片装置，其特征在于，所述激光器的类型包括皮秒激光器、亚皮秒激光器、飞秒激光器以及亚飞秒激光器，所述光束聚焦系统包括单个聚焦透镜、聚焦透镜组和显微加工物镜。
6.如权利要求1所述的激光加工脆性材料多焦点裂片装置，其特征在于，所述滤光片的形状为圆形，所述滤光片的直径为D，且所述滤光片直径D满足如下关系式：其中，NA表示光束聚焦系统的数值孔径，h表示所述滤光片距离脆性材料表面的距离，d表示第一个聚焦点距离脆性材料表面的距离。
7.一种应用权利要求1~6中任一项所述激光加工脆性材料多焦点裂片装置的激光加工脆性材料多焦点裂片方法，其特征在于，包括如下方法步骤：对激光器的激光进行扩束准直；对扩束准直后的激光进行反射；对反射后的激光进行衍射。
8.如权利要求7所述的激光加工脆性材料多焦点裂片方法，其特征在于，所述激光加工脆性材料多焦点裂片方法还包括如下步骤：对衍射后的激光进行聚焦，以在脆性材料的纵向位置上会形成多焦点，所述多焦点包括第一聚焦点a、第二聚焦点b和第三聚焦点c；控制滤光片上下振动，以使得第三聚焦点c先聚焦；控制滑台移动一定距离，以使得第二聚焦点b再聚焦；控制所述滑台再移动一定距离，以使得第一聚焦点a再聚焦。
9.如权利要求7所述的激光加工脆性材料多焦点裂片方法，其特征在于，所述激光加工脆性材料多焦点裂片方法还包括如下步骤：将改质的部分在表面依次附着聚合物通过急速冷却来达到分离，把所有改质层分离后，再次进行多焦点加工。
