一种抗损伤宽角度减反射复合微纳结构及其制备方法

一种抗损伤宽角度减反射复合微纳结构及其制备方法，属于光学技术领域，为克服高深宽比一种抗损伤宽角度减反射复合微纳结构，在任意光学谱段进行构建，该结构由微结构单元阵列构成，微结构单元周期满足亚波长条件，每个微结构单元包括在光学材料基底表面制备的仿生蛾眼微纳结构和在蛾眼结构表面共性生长的复合保护膜层；仿生蛾眼微纳结构为圆台、圆锥或圆柱，复合保护层选用高透过率材料，将仿生蛾眼微纳结构包裹其中；蛾眼微纳结构所带来的抗环境损伤性能下降的问题，与单一的蛾眼结构相比，减反射复合微纳结构在正入射和宽角度保证透过率的情况下，达到减小深宽比和满占空比效果，使得微纳复合结构在基底表面排列紧凑，达到了一定的抗损伤效果。