1.一种激光加工装置，其中，该激光加工装置具有：保持机构，其对被加工物进行保持；激光束照射机构，其使聚光点会聚于该保持机构所保持的被加工物而照射激光束；移动机构，其使该保持机构在加工进给方向和分度进给方向上移动；控制器，其至少对该激光束照射机构和该移动机构进行控制；以及温度检测器，其对该保持机构的温度或使该保持机构在加工进给方向上移动的驱动部的温度进行检测，该激光束照射机构具有聚光点位置调整单元，该聚光点位置调整单元用于调整该激光束在该被加工物的厚度方向上的聚光点位置，该控制器根据该温度检测器所检测的温度变化，对该聚光点位置调整单元进行控制而设定该激光束在该被加工物的厚度方向上的聚光点位置，并且对该驱动部进行控制而设定该聚光点在该被加工物的该分度进给方向上的位置，由此在激光加工中对该激光束的聚光点位置进行校正。
2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，在该控制器中存储有相关图，该相关图被预先存储，该相关图定义该保持机构或该驱动部的温度变化与该聚光点位置的变化的相关关系，该控制器通过参照该相关图而获取与该温度检测器所检测的温度对应的该聚光点位置的变化，该控制器使用与该聚光点位置的变化对应的校正值而对该激光束的聚光点位置进行校正。
3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，在该移动机构中使该保持机构在加工进给方向上移动的驱动部是具有电磁线圈的线性电动机，该温度检测器对该电磁线圈的温度进行检测。
4.一种激光加工装置的聚光点位置的校正方法，该激光加工装置具有：保持机构，其对被加工物进行保持；激光束照射机构，其使聚光点会聚于该保持机构所保持的被加工物而照射激光束；移动机构，其使该保持机构在加工进给方向和分度进给方向上移动；控制器，其至少对该激光束照射机构和该移动机构进行控制；以及温度检测器，其用于对该保持机构的温度或使该保持机构在加工进给方向上移动的驱动部的温度进行检测，其中，该激光束照射机构具有聚光点位置调整单元，该聚光点位置调整单元用于调整该激光束在该被加工物的厚度方向上的聚光点位置，该聚光点位置的校正方法具有如下的步骤：温度检测步骤，通过该温度检测器对温度进行检测；校正值计算步骤，根据所检测的该温度而计算用于使该激光束的聚光点位置偏移的校正值；以及聚光点位置校正步骤，根据该校正值，对该聚光点位置调整单元进行控制而设定该激光束在该被加工物的厚度方向上的聚光点位置，并且对该驱动部进行控制而设定该聚光点在该被加工物的该分度进给方向上的位置，由此在激光加工中对该激光束的聚光点位置进行校正。
5.根据权利要求4所述的激光加工装置的聚光点位置的校正方法，其中，在该控制器中存储有相关图，该相关图被预先存储，该相关图定义该保持机构或该驱动部的温度变化与该聚光点位置的变化的相关关系，在该校正值计算步骤中，该控制器通过参照该相关图而获取与该温度检测器所检测的温度对应的该聚光点位置的变化，并计算与该聚光点位置的变化对应的校正值。
6.根据权利要求4或5所述的激光加工装置的聚光点位置的校正方法，其中，在该移动机构中使该保持机构在加工进给方向上移动的驱动部是具有电磁线圈的线性电动机，该温度检测器对该电磁线圈的温度进行检测。
