有效

一种三维半导体器件、芯片及三维半导体器件的制备方法

刘琦、汪泳州、吴祖恒、时拓、刘宇、张培文、刘明
中国科学院微电子研究所
刘琦机构 暂无
技术领域 暂无
汪泳州机构 暂无
技术领域 暂无
吴祖恒机构 暂无
技术领域 暂无
时拓机构 暂无
技术领域 暂无
刘宇机构 暂无
技术领域 暂无
张培文机构 暂无
技术领域 暂无
刘明机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明公开一种三维半导体器件、芯片及三维半导体器件的制备方法,涉及半导体技术领域,用于在信息处理过程中,实现一次性对信号进行多级处理。所述三维半导体器件,包括:衬底及由下至上依次形成在衬底上的滤波结构、卷积结构及脉冲输出结构。滤波结构包括的第一介质层的材料为具备短时程记忆特性的材料。卷积结构包括的第二介质层的材料为具备长时程记忆特性的材料。脉冲输出结构包括的第三介质层的材料为具备阈值转变特性的材料。所述芯片包括上述三维半导体器件。所述三维半导体器件的制备方法用于制造上述三维半导体器件。