太阳能电池及其背面膜层结构及其制备方法、组件及系统

本发明适用于太阳能电池技术领域，提供了一种太阳能电池及其背面膜层结构及其制备方法、组件及系统，该背面膜层结构包括在硅片背面依次沉积的钝化层、第一氧化硅层、氮化硅层、氮氧化硅层、及第二氧化硅层；氮化硅层由不同折射率的多层氮化硅膜组成；依序排布的各层氮化硅膜、氮氧化硅层、及第二氧化硅层的折射率依次降低。本发明中提供的太阳能电池的背面膜层结构，解决了现有背面铝浆和背面银浆含有的玻璃粉在烧结过程中会损伤钝化膜而使得钝化效果不佳及对浆料配比及其稳定性和背激光精度要求较高使得难以提升太阳能电池的背面转换效率的问题。