失效

激光碟片晶体的键合方法

林学春、苗张旺、于海娟、何超建、左杰希、韩世飞
中国科学院半导体研究所

摘要

本发明提供一种激光碟片晶体的键合方法,该键合方法包括:将碟片增益介质放置在环形未掺杂介质中,其中,碟片增益介质为圆台型或棱台型;利用压块在碟片增益介质的上端面施加压力,使碟片增益介质和环形未掺杂介质紧密贴合,得到激光碟片晶体;其中,碟片增益介质的侧面和环形未掺杂介质的内表面完全重合;将激光碟片晶体置于加热炉中,在预设温度条件下进行加压扩散键合,得到键合后的激光碟片晶体。

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