一种射频四级场加速腔体的表面处理方法

1.一种射频四级场加速腔体的表面处理方法，包括：1）弱酸清洗待处理腔体后用高压纯水冲洗；所述步骤1）弱酸清洗步骤中，温度为60-75 o C；时间为 1-5min；所述步骤1）弱酸清洗步骤中，所述弱酸清洗为搅拌；所用搅拌棒与清洗面的距离为10-30 cm；搅拌速率为20-100 rpm/min；所述步骤1）弱酸清洗步骤中，所用弱酸清洗剂由柠檬酸、氨基磺酸、双氧水、正丁醇和水组成；所述柠檬酸与水的比例为1-5 g：1L；所述氨基磺酸与水的比例为2-10 g:1L；所述双氧水与水的比例为20-200 mL：1L；所述正丁醇与水的比例为20-100 mL：1L；2）弱酸处理步骤1）处理后的腔体后用高压纯水冲洗；所述步骤2）弱酸处理步骤中，所用处理液为氨基磺酸的水溶液；所述步骤2）弱酸处理步骤中，所述处理液的浓度为2-15 g/L。 2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤1）中，所述高压纯水冲洗步骤中，压强为60-100 mbar；时间为2-10 min。 3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述步骤2）弱酸处理步骤中，处理温度为10-40℃；处理时间为1-5min；所述高压纯水冲洗步骤中，压强为60-100 mbar；时间为2-10 min。 4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：所述步骤2）弱酸处理步骤中，处理时间为2min；所述高压纯水冲洗步骤中，压强为70-80mbar；时间为4-5min。 5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述方法还包括，在所述步骤1）之前进行如下预处理步骤a和步骤b：a、用酸性清洗剂稀释液超声清洗待处理腔体；b、高压纯水冲洗步骤1）处理后的腔体。 6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述步骤a中，所述酸性清洗剂稀释液由酸性清洗剂和水组成；所述酸性清洗剂稀释液中，酸性清洗剂在所述酸性清洗剂稀释液中的质量百分浓度为2-20%；所述超声清洗步骤中，温度为20-60℃；时间为0.1-1 h；所述步骤b冲洗步骤中，压强为60-100 mbar；时间为2-10 min。 7.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于：所述方法还包括：将步骤2）处理后的腔体用无水乙醇脱水吹干。 8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：所述吹干步骤中，所用气体为氮气或压缩空气。