一种激光芯片老化装置

1.一种激光芯片老化装置，其特征在于，包括底板、恒温水路系统和顶针机构，所述恒温水路系统和所述顶针机构并列设置于所述底板上，且所述顶针机构设置于所述恒温水路系统的前部。 2.根据权利要求1所述的激光芯片老化装置，其特征在于，所述顶针机构包括肘夹、连接板、导轨和顶针组件；所述肘夹和所述导轨均固定设置于所述底板上，所述连接板的端部与所述肘夹的活动端相连接，所述连接板的底部活动设置于所述导轨上，所述顶针组件设置于所述连接板靠近所述恒温水路系统的一侧。 3.根据权利要求2所述的激光芯片老化装置，其特征在于，所述顶针组件包括顶针块和顶针固定块，所述顶针块设置于所述连接板靠近所述恒温水路系统的一侧，所述顶针固定块设置于所述顶针块的底部，所述顶针固定块用于与待测芯片的探针相连接，并对探针进行定位和固定，防止探针因受力过大而折弯或折断。 4.根据权利要求2所述的激光芯片老化装置，其特征在于，所述底板上并列设置有多个所述恒温水路系统和多个所述顶针机构，多个所述顶针机构之间的所述连接板通过互连板相连接。 5.根据权利要求1所述的激光芯片老化装置，其特征在于，所述恒温水路系统包括水冷板，所述水冷板前侧面上部设置有限位座，所述限位座用于限定待测芯片位置，所述水冷板前侧面下部设置有多个积分球。 6.根据权利要求5所述的激光芯片老化装置，其特征在于，所述水冷板内部设置有循环冷却水路，所述水冷板外壁上设置有进水接口和出水接口，所述循环冷却水路与所述进水接口和出水接口均连通，所述进水接口与进水管路相连通，所述出水接口与出水管路相连通；所述水冷板用于放置待测芯片。 7.根据权利要求6所述的激光芯片老化装置，其特征在于，所述进水管路与所述进水接口之间设置有流量调节阀。 8.根据权利要求6所述的激光芯片老化装置，其特征在于，所述水冷板为长方体型结构，所述循环冷却水路设置于所述长方体型结构内部，所述进水接口和所述出水接口均设置于所述长方体型结构的底面的一端。 9.根据权利要求5所述的激光芯片老化装置，其特征在于，所述水冷板前侧面上部设置有限位座，所述限位座用于限定待测芯片的位置。 10.根据权利要求5所述的激光芯片老化装置，其特征在于，所述限位座为板型结构，所述限位座的前端面设置有多个卡槽，所述待测芯片设置于所述卡槽内。