1.一种光束扫描方法,其特征在于,包括:在入射光路中引入用于扫描的扫描光栅对和用于补偿色差的补偿组件;扫描光栅对相向旋转,不断改变出射光的指向,形成扫描;基于扫描光栅对的旋转角度,整体相向旋转两个补偿组件,使入射光经过补偿组件后指向不变,经过扫描光栅对后形成色差得到补偿的扫描;根据光束扫描的需求,设计扫描光栅对的光栅刻线数,使用的衍射级次和旋转角度:构建光栅的三轴坐标系,光栅设置于XY平面上,经过光栅对后,出射光与Z轴夹角为θ,其投影在XY平面上与X轴夹角为P;扫描光栅对中两个光栅的旋转角度分别为A和B,光栅的衍射级次为m,入射光的中心波长为λ,两个光栅的刻线数都为ρ,对两个光栅联立光栅方程,得到sinθ=2m·ρ·λ|cos((A+B)/2)| (3)由式(3)得到sinθ max =2m·ρ·λ (4)则由对扫描角度θ的最大值θ max 的要求,以及入射光的中心波长λ,基于式(4)设计扫描光栅的刻线数ρ,使用的衍射级次m;由对扫描角度P的要求,基于式(1)和式(2)计算两个扫描光栅的旋转角度A和B。
2.根据权利要求1所述的一种光束扫描方法,其特征在于,根据扫描光栅对的色差,设计补偿组件中光栅的刻线数,使用的衍射级次和旋转角度:色差导致不同波长的光在出射后的指向不同,色差的大小,可用出射光与Z轴夹角θ的偏差Δθ来表征,由式(3)计算由式(3)和式(5)可知,当扫描光栅对的A+B=0,产生最大色差为则补偿光栅对的最大色差要能够补偿扫描光栅对的最大色差,即式中,下标为1代表补偿光栅对的参数,β为补偿组件和扫描系统之间扩束系统的扩束比;基于扫描光栅对的衍射级次m,光栅刻线数ρ,光的中心波长λ,带宽Δλ以及扩束系统的扩束比β,由式(7)来设计补偿光栅对的衍射级次m 1 ,光栅刻线数ρ 1 。
3.根据权利要求2所述的一种光束扫描方法,其特征在于,色差的方向用出射光投影在XY平面上与X轴的夹角P来表征。
4.根据权利要求3所述的一种光束扫描方法,其特征在于,对扫描光栅对的两个光栅的任意旋转角度A和B,由式(5)可知其色差大小Δθ,由式(1)和式(2)可知其色差方向P,则补偿光栅对的色差大小为Δθ 1 =β·Δθ,方向为P 1 =P+180°,则使用式(1)式(2)式(3)式(5)可反解补偿光栅对的旋转角度A 1 和B 1 。
5.根据权利要求1所述的一种光束扫描方法,其特征在于,所述补偿组件为反射型补偿组件。
6.根据权利要求5所述的一种光束扫描方法,其特征在于,所述反射型补偿组件包括两组结构相同且整体相向旋转的反射补偿镜组,所述反射补偿镜组包括反射补偿光栅、平行于反射补偿光栅正上方设置的第一反射镜、与第一反射镜相对设置的第二反射镜以及平行于第二反射镜正下方设置的第三反射镜。
7.根据权利要求1所述的一种光束扫描方法,其特征在于,所述扫描光栅对包括两块相向旋转的平板透射光栅。