1.一种医用聚合物材料微加工用超低温微磨料气射流加工装置,其特征在于它包括:一液氮调节系统;所述的液氮调节系统包括自增压液氮罐(1)、减压阀(2)与液氮流量计(3),三者通过第一超低温保温管(4)相连接;液氮从自增压液氮罐(1)中流出,依次经减压阀(2)的稳压调节与液氮流量计(3)的流量调节,获得一定流量且压力稳定的液氮流束送入液氮微磨料混合装置(8)中;一空气微磨料两相流发生装置,所述的空气微磨料两相流发生装置包括空气压缩机(12)、微磨料-空气两相混合器(10)与空气微磨料两相流管道(9),微磨料-空气两相混合器(10)中的微细磨料与来自空气压缩机(12)的压缩空气进行混合,混合后的微磨料气射流经过空气微磨料两相流管道(9)送入液氮微磨料混合装置(8)中;一液氮微磨料混合装置(8);所述的液氮微磨料混合装置(8)包括液氮微磨料混合器(18),液氮微磨料混合器(18)设有一个空气微磨料两相流管道螺纹接口(21)和二个超低温保温管二螺纹接口(19),两相流管道螺纹接口(21)通过微磨料气射流通道(22)与液氮微磨料混合腔(23)相连通,两相流管道螺纹接口(21)通过第一螺纹接头(6)与空气微磨料两相流管道(9)相连通;超低温保温管二螺纹接口(19)通过各自的液氮射流通道(20)与液氮微磨料混合腔(23)相连通;两个超低温保温管二螺纹接口(19)分别通过各自的螺纹接头与第二超低温保温管(7)及第四超低温保温管(5)的一端相连通,第二超低温保温管(7)、第四超低温保温管(5)的另一端与液氮流路三分接头(25)的两个液氮出口螺纹接口(27)相连通,液氮流路三分接头(25)的液氮进口螺纹接口(26)与第一超低温保温管(4)相连通;液氮微磨料混合腔(23)连接有液氮微磨料混合器出口端螺纹接口(24),液氮微磨料混合器出口端螺纹接口(24)通过第三超低温保温管(11)与微细喷嘴(14)相连通;由液氮调节系统中获得的液氮流束通过液氮流路三分接头(25)分为两路,并通过第二超低温保温管(7)及第四超低温保温管(5)与液氮微磨料混合器(18)中的超低温保温管二螺纹接口(19)相连接;在液氮微磨料混合器(18)中低温液氮与磨料混合形成液氮微磨料射流,再通过第三超低温保温管(11)输送至微细喷嘴(14)射出,形成超低温微磨料气射流;一加工系统;所述的加工系统包括微细喷嘴(14)、四坐标移动平台(17)和工作台(16),PDMS基片(15)安装在四坐标移动平台(17)中的工作台(16)上,通过调节微细喷嘴(14)与工作台(16)的相对运动关系来实现PDMS基片(15)的高效精密微细加工。
2.根据权利要求1所述的医用聚合物材料微加工用超低温微磨料气射流加工装置,其特征是所述的第三超低温保温管(11)上安装有超低温调节阀(13),通过调整超低温调节阀(13)的参数来消除液氮射流与空气微磨料射流由于热交换而引起的振荡现象。
3.根据权利要求2所述的医用聚合物材料微加工用超低温微磨料气射流加工装置,其特征是所述的超低温调节阀(13)的阀芯阀座堆焊司太立合金,并对其表面进行碳化钨喷涂处理。
4.根据权利要求1所述的医用聚合物材料微加工用超低温微磨料气射流加工装置,其特征是所述的空气微磨料两相流管道(9)的一端通过第一螺纹接头(6)与液氮微磨料混合器(18)的空气微磨料两相流管道螺纹接口(21)螺旋相连,它的另一端与微磨料-空气两相混合器(10)相连。
5.根据权利要求1所述的医用聚合物材料微加工用超低温微磨料气射流加工装置,其特征是所述的液氮微磨料混合器(18)采用奥氏体不锈钢材料进行制作,并对液氮微磨料混合器(18)的液氮射流通道(20)与微磨料气射流通道(22)的内壁进行碳化钨喷涂处理。