一种检测氟化氢气体谐波吸收的方法及系统

本发明提供一种检测氟化氢气体谐波吸收的方法及系统，通过信号发生器产生锯齿波信号和三角波信号；将三角波信号作为信号发生器的输入信号与锯齿波信号进行叠加，获取叠加信号；将叠加信号作为激光器的激励源，使激光器生成波长可调谐的激光；将所产生的激光分别通过装有氟化氢气体的待测光程气体吸收池、以及装有氟化氢气体的参考光程气体吸收池，获取两组对应的吸收信号；通过前置放大器对吸收信号进行放大，并将放大后的信号输入锁相放大器中；将三角波信号作为锁相放大器的同步信号，通过同步信号对放大后的信号进行锁相；分析对氟化氢气体的谐波吸收。本发明可以通过光程气体吸收池吸收氟化氢气体，并同时可以检测氟化氢气体谐波吸程度。