测距方法及显微测距装置

本公开实施例公开了一种测距方法及显微测距装置，所述方法包括：利用激光光束以倾斜角度入射到已知高度的样品表面，获取所述激光光束在所述样品表面上形成的光斑在光电检测器上成像的坐标位置；建立所述样品表面的高度与所述坐标位置的对应关系；根据所述对应关系以及所述激光光束在待测样品表面上形成的光斑在所述光电检测器上成像的坐标位置，确定所述待测样品表面各处的高度。该技术方案使得显微区域和测距区域为同一个微区范围内，克服了被测样品表面起伏较大对测距的影响，提高了测距的准确性。