有效

一种选通管及其制备方法

罗庆、丁亚欣、吕杭炳、刘明
中国科学院微电子研究所
罗庆机构 暂无
技术领域 暂无
丁亚欣机构 暂无
技术领域 暂无
吕杭炳机构 暂无
技术领域 暂无
刘明机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明公开了一种选通管及其制备方法,选通管包括:衬底;设置于衬底上的交替层,所述交替层由底电极层与绝缘层交替形成;所述交替层上开设有U型凹槽,从所述U型凹槽的内壁至所述U型凹槽中心的方向依次设置有选通层和介质层,所述介质层围成的凹型空间内填充有顶电极层。本发明提供的选通管和制备方法,用以解决现有技术中选通管漏电流高的技术问题。提供了一种低漏电流的选通管。