1.一种选通管,所述选通管为两端结构,所述选通管包括:衬底;设置于衬底上的交替层,所述交替层由底电极层与绝缘层交替形成;所述交替层上开设有U型凹槽,从所述U型凹槽的内壁至所述U型凹槽中心的方向依次设置有选通层和介质层,所述介质层围成的凹型空间内填充有顶电极层,以形成三维器件结构,减少所述选通层与所述底电极层的接触面积;所述介质层用于形成导电细丝降低所述选通管的漏电流;所述选通层为铌的氧化物层,所述选通层的厚度为25~40nm;所述介质层为HfO 2 层,所述介质层的厚度为18~22nm;所述底电极层为TiN层;所述绝缘层为SiO 2 层;所述顶电极层为Pt层,位于所述凹型空间内的所述顶电极层的宽度为45~55nm。
2.如权利要求1所述的选通管,其特征在于:所述底电极层得的厚度为20~30nm。
3.一种选通管的制备方法,其特征在于,应用于两端结构的选通管制备,包括:在衬底上形成交替层,所述交替层由底电极层与绝缘层交替形成;刻蚀所述交替层形成U型凹槽;在所述U型凹槽内壁上依次形成选通层和介质层;在所述介质层围成的凹型空间内填充顶电极层,以形成三维器件结构,减少所述选通层与所述底电极层的接触面积;所述介质层用于形成导电细丝降低所述选通管的漏电流;所述在所述U型凹槽内壁上依次形成选通层和介质层,包括:在所述U型凹槽内壁上形成所述选通层;在所述选通层上采用原子层沉积技术沉积HfO 2 ,形成所述介质层;所述在所述介质层围成的凹型空间内填充顶电极层,包括:采用磁控溅射技术在所述介质层围成的凹型空间内沉积Pt,形成所述顶电极层,位于所述凹型空间内的所述顶电极层的宽度为45~55nm;所述在衬底上形成交替层,包括:在所述衬底上形成由TiN层与SiO 2 层交替形成的交替层。
4.如权利要求3所述的制备方法,其特征在于,所述在所述U型凹槽内壁上依次形成选通层和介质层,包括:采用磁控溅射技术击打包括Nb元素和O元素的靶材,在通氧量为0.6-1.0sccm的条件下,在所述U型凹槽内壁上沉积铌的氧化物,形成所述选通层;在所述选通层上形成所述介质层。
5.如权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述通氧量为0.8sccm。