一种用于芯片老化的恒温水路系统

本发明公开一种用于芯片老化的恒温水路系统，涉及恒温装置技术领域，主要结构包括并行设置的进水管路和出水管路以及多个水冷板；水冷板用于放置待测芯片，内部设有循环冷却水路和加热管；芯片工位位于水冷板上，水冷板上设置有限位座限定芯片位置。待测芯片通电后，激光通过积分球进行漫反射后到出光口。芯片通电工作时，芯片温度传到芯片底座，芯片底座与芯片工位贴紧接触，热量传递到水冷板上。水冷板内部循环水路带走热量，降低水冷板温度，从而间接带走芯片底座热量。水冷板内部带有温度传感器，温度下降到预定温度后，即可保持芯片底座恒温，从而能够对不同功率的激光芯片均衡降温。