失效
一种选择性发射极P型单晶硅片的制备方法
赵
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夏
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高
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刘
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刘
刘浩东机构 暂无
郭
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摘要
本发明公开了一种选择性发射极P型单晶硅片的制备方法,包括:选取P型单晶硅片,对硅片进行碱制绒;将硅片进行磷扩散,在硅片表面形成N型层;硅片正面开槽;去除硅片边缘PN结,去除硅片正面磷硅玻璃;经过退火炉形成氧化保护膜;沉积硅片背面氧化铝钝化层;在硅片的背面镀氮化硅反射膜;沉积硅片的正面镀氮化硅反射膜;硅片通过背面激光开槽;背面电极印刷;铝背场印刷;正面电极印刷以及高温快速烧结。该制备方法能提高电池片的效率。
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