有效

二次电子发射系数的测量方法

张科、姜开利、范守善
清华大学
张科机构 暂无
技术领域 暂无
姜开利机构 暂无
技术领域 暂无
范守善机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

一种二次电子发射系数的测量方法,包括:扫描电子显微镜发射高能电子束,该高能电子束穿过第一收集板、第二收集板进入到法拉第杯中,第二电流计测得进入到法拉第杯中的高能电子束形成的电流I<Sub>注入电流</Sub>;将第一收集板和第二收集板短接,将待测样品放置在第一收集板和第二收集板之间,在待测样品与第一收集板之间施加50伏电压,I<Sub>SE</Sub>=0,第一电流计测量待测样品和第一收集板之间的电流I<Sub>1</Sub>,背景电流I<Sub>BG1</Sub>忽略,根据I<Sub>1</Sub>=I<Sub>BG1</Sub>+I<Sub>others</Sub>+I<Sub>SE</Sub>,求得I<Sub>others</Sub>;在第一收集板和待测样品之间施加一正电压,采用第一电流计测量第一收集板和待测样品之间的电流I<Sub>2</Sub>,背景电流I<Sub>BG2</Sub>忽略,根据I<Sub>2</Sub>=I<Sub>BG2</Sub>+I<Sub>others</Sub>+I<Sub>SE</Sub>,求I<Sub>SE</Sub>,进而得到二次电子发射系数。

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