多功能CFN/CO混合气体配气系统

1.一种多功能C 4 F 7 N/CO 2 混合气体配气系统，其特征在于，包括C 4 F 7 N输入口、CO 2 输入口、C 4 F 7 N换热器、CO 2 换热器、C 4 F 7 N/CO 2 混合管路结构、C 4 F 7 N/CO 2 混合气体输出管路结构；所述C 4 F 7 N换热器用以对经所述C 4 F 7 N输入口输入的C 4 F 7 N进行加热汽化；所述CO 2 换热器用以对经所述CO 2 输入口输入的CO 2 进行加热汽化；所述C 4 F 7 N/CO 2 混合管路结构用以对加热后的C 4 F 7 N、加热后的CO 2 进行混合，所述C 4 F 7 N/CO 2 混合气体输出管路结构用以输出混合后的C 4 F 7 N/CO 2 混合气体；所述C 4 F 7 N/CO 2 混合管路结构包括C 4 F 7 N/CO 2 动态配气管路结构、C 4 F 7 N/CO 2 分压混合管路结构；所述C 4 F 7 N/CO 2 动态配气管路结构与所述C 4 F 7 N/CO 2 分压混合管路结构并联设置；其中，所述C 4 F 7 N/CO 2 动态配气管路结构用以对加热后的CO 2 、加热后的C 4 F 7 N进行定量混合；所述C 4 F 7 N/CO 2 分压混合管路结构用以对加热后的CO 2 、加热后的C 4 F 7 N进行定压混合。 2.根据权利要求1所述的多功能C 4 F 7 N/CO 2 混合气体配气系统，其特征在于，所述C 4 F 7 N/CO 2 动态配气管路结构包括第一电磁阀、第二电磁阀、第一热式质量流量计、第二热式质量流量计、缓冲混合罐、第一管道、第二管道；所述缓冲混合罐上开设有第一进气口、第二进气口、第一混合气体出气口；所述CO 2 换热器的出气口与所述第一进气口之间通过第一管道连通，所述第一电磁阀、第一热式质量流量计均设置在所述第一管道上；所述C 4 F 7 N换热器的出气口与所述第二进气口之间通过第二管道连通，所述第二电磁阀、第二热式质量流量计均设置在所述第二管道上；所述第一混合气体出气口与所述C 4 F 7 N/CO 2 混合气体输出管路结构的进气端连通。 3.根据权利要求1所述的多功能C 4 F 7 N/CO 2 混合气体配气系统，其特征在于，所述C 4 F 7 N/CO 2 分压混合管路结构包括分压混合罐、第三管道、第四管道、第五管道、第三电磁阀、第四电磁阀、第一比例阀；多个所述分压混合罐并联设置；所述第三管道的进气口与所述CO 2 输入口连通，所述第四管道的进气口与所述C 4 F 7 N输入口连通，所述第三管道的出气口、所述第四管道的出气口均与第五管道的进气口连通；所述第五管道的出气口与所述分压混合罐的进气口连通；所述第三电磁阀设置在所述第三管道上，所述第四电磁阀设置在所述第四管道上，所述第一比例阀设置在所述第五管道。 4.根据权利要求3所述的多功能C 4 F 7 N/CO 2 混合气体配气系统，其特征在于，所述分压混合罐还配置有循环混合管路结构；所述循环混合管路结构包括第五电磁阀、第一气泵、第一单向阀、第六电磁阀、循环管道；在所述分压混合罐的两端分别开设有循环进气口、循环出气口，所述循环管道的两端分别与所述循环进气口、循环出气口连通，所述第五电磁阀、第一气泵、第一单向阀、第六电磁阀按照气体从循环出气口流向循环进气口的顺序依次设置在所述循环管道上。 5.根据权利要求4所述的多功能C 4 F 7 N/CO 2 混合气体配气系统，其特征在于，所述分压混合罐的数量为两个，分别为第一分压混合罐、第二分压混合罐；所述循环管道包括收尾依次连通的循环进气段、循环段、循环出气段；所述循环进气段的进气口与对应的分压混合罐的循环出气口连通，所述第五电磁阀设置在对应的循环进气段上，两条所述循环进气段的出气口均与一条所述循环段的进气口连通；所述第一气泵、第一单向阀均设置在所述循环段上，所述循环段的出气口均与两条所述循环出气段的进气口连通，所述第六电磁阀设置在对应的循环出气段上，所述循环出气段的出气口与对应的分压混合罐的循环进气口连通。 6.根据权利要求3所述的多功能C 4 F 7 N/CO 2 混合气体配气系统，其特征在于，C 4 F 7 N/CO 2 混合管路结构还包括用以将分压混合罐中的混合C 4 F 7 N/CO 2 混合气体进行抽出的输出管路结构；所述输出管路结构包括第七电磁阀、藤原无油真空泵或者负压泵、第二单向阀、第三比例阀、第八电磁阀、第一输出管道、第二输出管道；所述第一输出管道、第二输出管道呈并联设置，所述第一输出管道的进气口、第二输出管道的进气口均与分压混合罐的出气口连通，所述第一输出管道的出气口、第二输出管道的出气口均与所述C 4 F 7 N/CO 2 混合气体输出管路结构连通；所述第七电磁阀、藤原无油真空泵或者负压泵、第二单向阀顺着气体的输送方向依次设置在所述第一输出管道上；所述第三比例阀、第八电磁阀按照气体的流动的先后顺序依次设置在所述第二输出管道上。 7.根据权利要求1所述的多功能C 4 F 7 N/CO 2 混合气体配气系统，其特征在于，所述多功能C 4 F 7 N/CO 2 混合气体配气系统还包括加压管路结构，所述加压管路结构用以对经所述C 4 F 7 N/CO 2 混合管路结构输出的C 4 F 7 N/CO 2 混合气体进行加压。 8.根据权利要求7所述的多功能C 4 F 7 N/CO 2 混合气体配气系统，其特征在于，所述加压管路结构包括第一缓冲罐、第三气泵、第三单向阀、第一加压管道、第二加压管道、第四比例阀、第三加压管道；所述第一加压管道的两端分别与C 4 F 7 N/CO 2 动态配气管路结构的出气端、所述第一缓冲罐的第一进气口连通；所述第二加压管道的两端分别与C 4 F 7 N/CO 2 分压混合管路结构的出气端、所述第一缓冲罐的第二进气口连通；所述第三加压管道的两端分别与第一缓冲罐的出气口、所述C 4 F 7 N/CO2混合气体输出管路结构的进气端连通；所述第四比例阀设置在所述第一加压管道上，所述第三气泵、所述第三单向阀按照气体的流动的先后顺序依次设置在所述第三加压管道上。 9.根据权利要求8所述的多功能C 4 F 7 N/CO 2 混合气体配气系统，其特征在于，所述混合气体输出管路结构包括第十电磁阀、第二缓冲罐、混合气体出气管道；所述混合气体出气管道的进气口与所述加压管路结构的出气端连通，所述第十电磁阀、第二缓冲罐按照气体的流动的先后顺序依次设置在所述混合气体出气管道上。