有效

基于1T1R结构的忆阻器及其制备方法、集成结构

刘琦、魏劲松、吴祖恒、时拓、窦春萌、刘明、张续猛
中国科学院微电子研究所
刘琦机构 暂无
技术领域 暂无
魏劲松机构 暂无
技术领域 暂无
吴祖恒机构 暂无
技术领域 暂无
时拓机构 暂无
技术领域 暂无
窦春萌机构 暂无
技术领域 暂无
刘明机构 暂无
技术领域 暂无
张续猛机构 暂无
技术领域 暂无

摘要

本发明公开了一种基于1T1R结构的忆阻器及其制备方法、集成结构,所述忆阻器包括:基于所述1T1R结构形成的MOSFET结构底座和生长在所述MOSFET结构底座上的RRAM结构,所述RRAM结构的底电极设置在所述MOSFET结构底座上、与所述MOSFET结构底座的漏极电连接,设置在所述RRAM结构的底电极上的所述RRAM结构的阻变层与所述MOSFET结构底座的漏极之间间隔所述底电极并错位对应。本发明通过RRAM结构的阻变层和MOSFET结构的漏极错位对应,在MOSFET结构底座上预留平整的表面用于生长RRAM结构,阻变层与底电极接触更好,避免了短路,降低了接触电阻,使RRAM结构的生长工艺更加稳定可控,并提高1T1R结构的忆阻器器件的良率和稳定性。