1.一种掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,所述制造方法包括以下步骤:步骤1,提供一种第一石英件,所述第一石英件包括尾柄、连接杆及插销,所述尾柄一端凹设有腔体,所述连接杆一端伸入所述腔体内,所述腔体管壁与所述连接杆上均设有销孔,所述销孔贯穿所述腔体管壁与所述连接杆,所述插销插入所述销孔内以连接所述尾柄及所述连接杆;步骤2,在连接杆上沉积形成与尾柄连接的粉末体;步骤3,抽出连接杆,在粉末体上形成与腔体贯通的中心孔,所述粉末体套接于所述尾柄外组成石英套管预制件,所述第一石英件还包括塞子,所述塞子用于封堵所述腔体管壁上的所述销孔;步骤4,将石英套管预制件放入加热炉中,在加热炉中及中心孔内通入脱水气体,使粉末体加热脱水,所述加热炉包括导气管,所述导气管伸入所述中心孔中通入气体,所述导气管与所述中心孔存在间隙,所述导气管伸入所述中心孔中的距离范围为5mm至50mm,所述导气管与所述中心孔的间隙范围为2mm至20mm;步骤5,在加热炉中及中心孔内通入掺氟气体,使粉末体在掺氟气氛中加热浸泡以形成掺氟石英套管。
2.根据权利要求1所述的掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,所述制造方法还包括以下步骤:通过打磨设备打磨掺氟石英套管制成设定的内径及外径。
3.根据权利要求1所述的掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,所述加热炉还包括炉体,加热区和进气管,所述加热区安装于所述炉体周侧,所述进气管及所述导气管安装于所述炉体一端,所述进气管伸入所述炉体中向所述炉体内通入气体。
4.根据权利要求1所述的掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,所述脱水气体包括氯气及氦气,所述氯气的流量范围为500ml/min至1500ml/min,脱水温度的范围为900℃至1150℃,脱水时长范围为1h至2h。
5.根据权利要求1所述的掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,所述掺氟气体包括含氟气体及氦气,所述含氟气体的流量范围为10ml/min至2000ml/min,掺氟温度的范围为900℃至1150℃,掺氟时长范围为1h至2h。
6.根据权利要求1所述的掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,通过化学气相沉积设备进行沉积,所述化学气相沉积设备包括第一喷灯及第二喷灯,所述第一喷灯及所述第二喷灯设置于所述连接杆周侧。
7.根据权利要求6所述的掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,所述第一喷灯灯口的中心点与所述第二喷灯灯口的中心点的连线的距离为70mm至120mm。
8.根据权利要求7所述的掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,所述第一喷灯沉积粉末密度范围为0.25g/cm3至0.35g/cm3,所述第二喷灯沉积粉末密度范围为0.28至0.38g/cm3。
9.根据权利要求2所述的掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,所述打磨设备包括磨头及第三夹具,通过第三夹具夹持所述掺氟石英套管周侧并保持所述掺氟石英套管水平,将磨头伸入所述中心孔中,通过所述磨头以第一速度往复珩磨所述中心孔,制成设定内径的掺氟石英套管。
10.根据权利要求9所述的掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,所述打磨设备还包括砂轮及第四夹具,通过第四夹具固定于所述中心孔中以固定所述掺氟石英套管并保持所述掺氟石英套管水平,移动所述第四夹具使所述掺氟石英套管进行往复移动,通过所述砂轮对所述掺氟石英套管表面进行打磨处理,制成设定外径的所述掺氟石英套管。
11.根据权利要求9所述的掺氟石英套管的制造方法,其特征在于,所述磨头的转速为100rpm,所述第一速度的范围为5000mm/min至9000mm/min。
12.一种应用如权利要求1至11中任一项中所述掺氟石英套管的制造方法制成的掺氟石英套管,所述掺氟石英套管包括掺氟后的粉末体及中心孔,所述中心孔贯穿所述粉末体并沿所述粉末体轴向设置,其特征在于,所述掺氟石英套管的外径范围为50mm至140mm,单侧宽度范围为20mm至120mm,相对折射率范围为-0.05%至-0.45%,羟基含量小于0.1ppm,所述掺氟石英套管内径不均匀性小于0.1mm,外径不均匀性小于0.5mm。