有效

掺氟石英套管及制造方法

仇春雷、周建峰、钱宜刚、沈一春、薛驰、薛济萍
中天科技精密材料有限公司

摘要

一种掺氟石英套管及制造方法:提供一种第一石英件,所述第一石英件包括尾柄、连接杆及插销,所述尾柄一端凹设有腔体,所述连接杆一端伸入所述腔体内,所述腔体管壁与所述连接杆上均设有销孔,所述插销插入所述销孔内以连接所述尾柄及所述连接杆;在连接杆上沉积形成与尾柄连接的粉末体;抽出连接杆,在粉末体上形成与腔体贯通的中心孔,所述粉末体套接于所述尾柄外组成石英套管预制件;将石英套管预制件放入加热炉中,在加热炉中及中心孔内通入脱水气体,使粉末体加热脱水;在加热炉中及中心孔内通入掺氟气体,使粉末体在掺氟气氛中加热浸泡以形成掺氟石英套管。上述掺氟石英套管及制造方法中掺氟均匀,材料利用率高。

暂无引用专利