有效

氮化镓功率器件及其制造方法

刘斯扬、李宁波、王德进、肖魁、张弛、李胜、陶心怡、孙伟锋、时龙兴
东南大学

摘要

本发明涉及一种氮化镓功率器件,包括:氮化镓基底;阴极;多个氮化镓凸起结构,设于所述氮化镓基底上、阴极之间,相邻的氮化镓凸起结构之间形成凹槽;电子迁移层,覆盖各所述氮化镓凸起结构的顶部和侧面;氮化镓层,设于所述电子迁移层上并填充各所述凹槽;所述电子迁移层用于在被设置的位置形成导电沟道区,所述导电沟道区的电子迁移率高于所述氮化镓层的电子迁移率;多个第二导电类型区,每个第二导电类型区从所述氮化镓层的顶部向下伸入一所述凹槽,各所述氮化镓凸起结构的顶部均高于各所述第二导电类型区的底部;阳极,设于所述氮化镓层和各所述第二导电类型区上。本发明能够在保证器件耐压能力的前提下降低导通电阻。