有效

光纤预制棒及其制备方法、等离子沉积设备

吴椿烽、钱宜刚、沈一春、陈京京、薛驰、薛济萍
中天科技精密材料有限公司

摘要

本发明提供一种光纤预制棒及其制备方法和等离子沉积设备,该方法通过掺氟烧结,形成内包层渐变式的掺氟分布,可解决芯层、内包层、光学包层之间粘度匹配的制备工艺难点,特别是芯层与光学包层边界上粘度匹配;同时,实现粉末棒中各层氟化物的约束性扩散分布,保证各层折射率要求;通过掺氟沉积与去应力同步开展,可有效解决大厚度掺氟层的应力问题,避免出现掺氟层越厚越容易开裂的现象。